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文献类型

  • 8篇中文专利

主题

  • 4篇电离
  • 4篇气体传感
  • 4篇气体传感器
  • 4篇感器
  • 4篇场致电离
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇电荷量
  • 2篇电介质
  • 2篇电离能
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇电压
  • 2篇毒品
  • 2篇氧化硅
  • 2篇氧化物薄膜
  • 2篇气体传感器阵...
  • 2篇微米
  • 2篇微米材料
  • 2篇螺旋测微器

机构

  • 8篇中国科学院合...

作者

  • 8篇李民强
  • 8篇刘锦淮
  • 8篇黄家锐
  • 6篇陈星
  • 6篇孟凡利
  • 4篇李广义
  • 4篇黄仲婴
  • 2篇王俊海
  • 2篇贾勇

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2010
  • 4篇2008
  • 2篇2007
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
表面敏感电容式气体传感器及其制作方法
本发明涉及表面敏感电容式气体传感器及其制作方法。依次由第一电极、硅片、氧化硅、第二电极和敏感材料薄膜组成,表面敏感电容式气体传感器氧化硅作为电介质,与硅片和第二电极之间形成一个平板电容器结构,敏感材料薄膜置于平板电容器某...
孟凡利刘锦淮李民强贾勇陈星黄家锐
文献传递
车载乙醇检测的SnO<Sub>2</Sub>薄膜及其制备方法
本发明公开了车载乙醇检测的SnO<Sub>2</Sub>薄膜及其制备方法,车载乙醇检测的SnO<Sub>2</Sub>薄膜主要包括硅衬底、电极层、薄膜敏感材料层三层。其中敏感材料层主要由SnO<Sub>2</Sub>半导...
李民强黄家锐王俊海刘锦淮
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场致电离纳米气体传感器及制作方法
本发明涉及一种场致电离纳米气体传感器及制作方法。传感器包括场致电离纳米尖端、金属针,底座上有多根管脚,金属针穿过底座中间的小孔固定在场致电离纳米尖端的下方,金属网罩在场致电离纳米尖端上方,用钢箍将其固定在底座上。所述的场...
黄家锐孟凡利李民强黄仲婴陈星李广义刘锦淮
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基于场致电离效应的气体检测装置及检测方法
本发明涉及一种基于纳米或微米尖端场致电离效应的气体检测装置及检测方法。所述的气体检测装置由场致电离器件、采样处理室、检测室、检测电路和计算机五部分组成,采样处理室与检测室相连,场致电离器件置于检测室中,并与检测室外的检测...
刘锦淮孟凡利李民强黄家锐李广义黄仲婴陈星
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场致电离纳米气体传感器及制作方法
本发明涉及一种场致电离纳米气体传感器及制作方法。传感器包括场致电离纳米尖端、金属针,底座上有多根管脚,金属针穿过底座中间的小孔固定在场致电离纳米尖端的下方,金属网罩在场致电离纳米尖端上方,用钢箍将其固定在底座上。所述的场...
黄家锐孟凡利李民强黄仲婴陈星李广义刘锦淮
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车载乙醇检测的SnO<Sub>2</Sub>薄膜及其制备方法
本发明公开了车载乙醇检测的SnO<Sub>2</Sub>薄膜及其制备方法,车载乙醇检测的SnO<Sub>2</Sub>薄膜主要包括硅衬底、电极层、薄膜敏感材料层三层。其中敏感材料层主要由SnO<Sub>2</Sub>半导...
李民强黄家锐王俊海刘锦淮
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表面敏感电容式气体传感器及其制作方法
本发明涉及表面敏感电容式气体传感器及其制作方法。依次由第一电极、硅片、氧化硅、第二电极和敏感材料薄膜组成,表面敏感电容式气体传感器氧化硅作为电介质,与硅片和第二电极之间形成一个平板电容器结构,敏感材料薄膜置于平板电容器某...
孟凡利刘锦淮李民强贾勇陈星黄家锐
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基于场致电离效应的气体检测装置及检测方法
本发明涉及一种基于纳米或微米尖端场致电离效应的气体检测装置及检测方法。所述的气体检测装置由场致电离器件、采样处理室、检测室、检测电路和计算机五部分组成,采样处理室与检测室相连,场致电离器件置于检测室中,并与检测室外的检测...
刘锦淮孟凡利李民强黄家锐李广义黄仲婴陈星
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共1页<1>
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