陈顺礼
- 作品数：23 被引量：19H指数：2
- 供职机构：四川大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家磁约束核聚变能发展研究专项教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：核科学技术理学电子电信一般工业技术更多>>
- AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性被引量：4
- 2013年
- 通过多靶共溅射的方法,制备了(AlCrTaTiNi)N和双层AlCrTaTiNi/(A1CrTaTiNi)N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明Cu/(A1CrTaTiNi)N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和(A1CrTaTiNi)N的粘附性.AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu-Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.
- 张立东王飞陈顺礼汪渊
- 关键词：高熵合金热稳定性
- 液态锂回路的净化及在线检测系统
- 2016年
- 介绍了液态锂回路中的净化及在线检测装置。该装置采用了冷阱法和热阱法,使回路中产生的C、O、N和氢同位素等杂质降至10wppm以下。目前,已经利用四电极测电阻法测量了放锂前后的电阻随温度的变化曲线,再经过多项式拟合,计算得到了纯锂的电阻率随温度变化的函数。
- 薛晓艳张卫卫左浩毅欧巍曹小岗杨党校陈顺礼芶富均
- 关键词：锂电阻在线检测
- 梯度α-Ta(N)/TaN双层阻挡层的制备及性能表征被引量：1
- 2012年
- 提出了一种梯度氮化法制备出低阻、高稳定性的α-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层。该方法有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率。用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)进行薄膜电性能和结构的表征。分析结果表明,梯度氮化工艺能调控金属Ta膜的相结构和金属Ta中的N原子浓度,从而获得低阻α-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构。600高温老化退火的实验结果进一步证明此结构具有高的热稳定性。
- 刘春海罗宏金永中宋忠孝陈顺礼汪渊安竹刘明
- 关键词：扩散阻挡层电阻率微结构
- 液态锂回路的研究及实验被引量：1
- 2016年
- 在对国内外液态锂回路研究综述的基础上,重点介绍了四川大学流动液态锂回路的研究进展。为开展等离子体与流动自由液态锂表面相互作用的研究而设计了该回路,其目标是:(1)获得稳定、均匀的流动自由液态锂表面;(2)研究等离子体辐照下液态锂的蒸发、溅射以及氢、氢同位素和氦在液态锂中的滞留行为;(3)研究等离子体辐照下液态锂与结构材料的相容性。系统包括液态锂循环部分和直线高密度等离子体发生装置。
- 薛晓艳张卫卫左浩毅欧巍曹小岗杨党校陈顺礼苟富均
- 关键词：技术参数
- 氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响被引量：1
- 2012年
- 采用射频磁控溅射方法,分别在纯Ar和Ar,He混合气氛下制备了多个不同调制周期的Cu/W纳米多层膜.利用增强质子背散射(EPBS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对Cu/W多层膜中He含量、截面形貌和相结构进行了分析.结果表明:多层膜的界面稳定性是耐氦损伤的前提和保证.在适当的调制周期下,纳米多层膜能有抑制氦泡成核及长大的能力.
- 刘望邬琦琦陈顺礼朱敬军安竹汪渊
- 关键词：纳米多层膜
- 一种可控自形成阻挡层用Cu(Ge,Zr)合金的制备工艺
- 本发明公开了一种在超深亚微米集成电路铜互连技术中应用的可控自形成阻挡层用Cu（Ge，Zr）合金的制备工艺。本工艺采用气相物理共溅射技术，包括镀前处理、偏压反溅清洗和沉积Cu（Ge，Zr）合金层等步骤。本发明沉积的Cu（G...
- 刘波张彦坡陈顺礼
- 文献传递
- 深亚微米集成电路Cu互连用梯度扩散阻挡层制备工艺
- 本发明涉及一种深亚微米集成电路Cu互连用梯度扩散阻挡层制备工艺，属于半导体集成电路制造技术领域。该工艺采用射频磁控溅射镀膜设备在单晶Si基体上沉积一层非晶态TaN层；之后再沉积TaN梯度层，并通过逐渐调小反应气体N<Su...
- 刘春海汪渊刘波杨吉军陈顺礼
- 文献传递
- 一种用于三维薄膜锂离子电池的LiFePO<Sub>4</Sub>/TiO<Sub>2</Sub>正极材料及其制备方法
- 本发明提供了一种用于三维薄膜锂离子电池的LiFePO<Sub>4</Sub>/TiO<Sub>2</Sub>正极材料及其制备方法，属于锂离子电池正极薄膜材料技术领域，其以TiO<Sub>2</Sub>纳米管阵列作为三维薄...
- 汪渊牛文骁劳远侠裘南陈顺礼
- 文献传递
- 一种高电压球形电极
- 本实用新型涉及一种高电压球形电极，包括电极柱，其特征在于：还包括球体，球壳外部开设有用于填充填料的孔，球体内部完全填充复合绝缘材料，电极柱穿设于小孔，通过高温固化与球体内部连接为一个整体。本实用新型的优点在于：①球体材料...
- 陈顺礼汪渊陈龙庆
- 文献传递
- 笼状热电材料p型和n型Ba_8Ga_(16)Ge_(30)单晶之间载流子的调谐研究被引量：2
- 2016年
- 本研究首次实现了p型和n型Ba_8Ga_(16)Ge_(30)(BGG)单晶之间载流子类型的相互转换.采用以对方单晶为前驱体的再合成调制方法,再次制备了Ba_8Ga_(16)Ge_(30)(BGG)单晶笼状热电材料,利用物理属性测量系统(PPMS)测量单晶样品的变温电阻率并对其载流子类型进行了评价.结果表明:p型和n型Ba_8Ga_(16)Ge_(30)(BGG)单晶之间载流子类型可以成功地进行相互转换,且n型转换为p型样品时前驱体状态及成分配比的不同可导致改性后样品电阻率及载流子浓度不同.以单晶为前驱体的晶体再生长以及载流子调节对于制备珍贵同位素替代的大块单晶具有指导意义,有益于材料内部笼内及笼上原子的非简谐振动研究,并对热电材料的再生利用也具有重要意义.
- 王冰陈顺礼杨吉军廖家莉杨远友刘宁唐军
- 关键词：热电材料
