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陈艇
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
浙江理工大学
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发文基金:
浙江省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
张贵珍
浙江理工大学
陈本永
浙江理工大学
张丽琼
浙江理工大学
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陈艇
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1篇
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磁悬浮式微动工作台驱动方案的设计与实现
被引量:3
2007年
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围高精度的微运动.本文论述了磁悬浮式微动工作台驱动电路的主要性能参数、驱动方案的选择,设计了两种驱动电路,并进行了实验研究,最后根据试验结果对两种驱动电路进行分析比较,得出了满足该磁悬浮式微动工作台运动要求的驱动方法,为磁悬浮式微动工作台的整体设计及其控制提供了技术支持.
陈本永
陈艇
张丽琼
张贵珍
关键词:
磁悬浮
微动工作台
驱动电路
磁悬浮微动工作台下驱动和测量方法研究
微动工作台是微机电系统技术研究的关键之一。本论文主要针对磁悬浮式微动工作台的驱动和测量方法展开研究。通过驱动才能给微动工作台提供合适的电流或电压,输出所需功率驱动它们运动;通过测量才能获得工作台运动的位移信息,为工作台的...
陈艇
关键词:
磁悬浮
微动工作台
驱动电路
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