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张海霞

作品数：193 被引量：120H指数：6
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 134篇专利
  • 40篇期刊文章
  • 13篇会议论文
  • 3篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 24篇电子电信
  • 18篇自动化与计算...
  • 11篇一般工业技术
  • 9篇文化科学
  • 8篇电气工程
  • 7篇机械工程
  • 4篇化学工程
  • 4篇建筑科学
  • 3篇经济管理
  • 1篇社会学
  • 1篇政治法律
  • 1篇历史地理
  • 1篇理学

主题

  • 41篇电机
  • 41篇发电机
  • 25篇电极
  • 25篇纳米
  • 24篇刻蚀
  • 17篇MEMS
  • 15篇衬底
  • 13篇压电
  • 13篇离子刻蚀
  • 13篇反应离子
  • 13篇反应离子刻蚀
  • 13篇传感
  • 11篇摩擦式
  • 10篇电镀
  • 10篇电容
  • 10篇高深宽比
  • 10篇充电
  • 9篇感器
  • 8篇微加工
  • 7篇电容器

机构

  • 187篇北京大学
  • 4篇北京交通大学
  • 2篇天津大学
  • 2篇中国科学院力...
  • 2篇北京三星通信...
  • 1篇南开大学
  • 1篇郑州大学
  • 1篇上海大学

作者

  • 191篇张海霞
  • 45篇韩梦迪
  • 44篇张晓升
  • 43篇孟博
  • 30篇朱福运
  • 27篇宋宇
  • 24篇刘雯
  • 24篇程晓亮
  • 23篇孙旭明
  • 19篇苏宗明
  • 19篇郝一龙
  • 15篇唐伟
  • 15篇陈学先
  • 11篇吴文刚
  • 10篇陈庆华
  • 10篇杜博超
  • 10篇张进鑫
  • 9篇田大宇
  • 9篇张国炳
  • 8篇袁泉

传媒

  • 6篇微纳电子技术
  • 5篇太赫兹科学与...
  • 4篇科技导报
  • 3篇中国机械工程
  • 3篇纳米技术与精...
  • 3篇中国微米纳米...
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇信息与电子工...
  • 2篇大学生
  • 2篇金融博览
  • 2篇物联网技术
  • 2篇中国微米、纳...
  • 1篇科学通报
  • 1篇中国大学教学
  • 1篇北京大学学报...
  • 1篇今日电子
  • 1篇编辑学报
  • 1篇测试技术学报
  • 1篇中兴通讯技术
  • 1篇郑州大学学报...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 5篇2020
  • 10篇2019
  • 14篇2018
  • 15篇2017
  • 15篇2016
  • 21篇2015
  • 19篇2014
  • 19篇2013
  • 19篇2012
  • 13篇2011
  • 8篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 9篇2005
  • 4篇2004
  • 7篇2003
共 193 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于电磁与摩擦原理的复合式发电机
本发明涉及微能源领域，具体涉及一种基于电磁与摩擦原理的复合式发电机，包含外壳及外壳内从上到下设有的顶部质量块、顶部永磁体、摩擦层、金属线圈、底部永磁体，外壳呈圆筒形，顶部质量块、顶部永磁体、摩擦层、金属线圈、底部永磁体均...
张海霞韩梦迪张晓升刘雯孟博孙旭明
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一种微纳集成发电机及其制备方法
本发明公开了微纳集成发电机及制备方法，结构包括导电层、PET层、PDMS层、微纳复合PDMS阵列和金属膜层，导电层制作于PET层表面；PET层为聚对苯二甲酸乙二醇酯；PDMS层为聚二甲基硅氧烷；微纳复合PDMS阵列制作于...
张海霞张晓升韩梦迪朱福运
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基于LC振荡的适用于摩擦发电机的能量管理系统
本发明提供了一种基于LC振荡的适用于摩擦发电机的能量管理系统。包括：摩擦发电机、整流模块、控制电路模块、开关电路和互感线圈，摩擦发电机、整流模块、开关电路和互感线圈依次串联连接，控制电路模块与整流模块、开关电路连接，整流...
张海霞程晓亮缪立明宋宇
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聚酰亚胺薄膜工艺及其在MEMS中的应用
介绍了聚酰亚胺薄膜的制备工艺，研究了薄膜的刻蚀特性，发现湿法腐蚀得到的聚酰亚胺薄膜图形受最小尺寸的限制。对于O2等离子刻蚀，改变参教得到了刻蚀速率随O2流量和功率的变化曲线；对于RIE干法刻蚀，通过两次测量得到了更加精确...
耿小宝张海霞唐观荣田大宇李素兰张国炳
关键词：聚酰亚胺薄膜刻蚀工艺性能评价微机电系统
一种基于压电摩擦电磁的复合纳米发电机
本发明涉及一种基于压电摩擦电磁的复合纳米发电机，在转子外侧相对应位置上设置有一对突起的扣罩式摩擦层。在外壳内侧相对应位置上设置有一对突起的扣罩式压电层。在外壳内侧设置有相对应的一对磁极。本发明将基于压电的能量采集方式的高...
张晓升张海霞韩梦迪孙旭明朱福运刘雯
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一种动作仿真控制方法及其系统
本发明公开了一种动作仿真控制方法及其系统，其方法为利用信号采集器采集运动对象的运动信息，将其转换为动作图形后与定义的动作图形进行匹配，发送匹配成功的动作图形对应的控制指令控制游戏中的角色动作，实现仿真；本发明的一种动作仿...
安萍付阳李科佳赵瑜张海霞李志宏郝一龙
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一种具有多孔结构的可拉伸弹性体的制备方法
本发明实施例提供了一种具有多孔结构的可拉伸弹性体的制备方法，具有极高的可控性。所述方法包括：一种具有多孔结构的可拉伸弹性体的制备方法，包括：步骤一，获取衬底；步骤二，在所述衬底上制备预定厚度的薄膜，作为牺牲层；步骤三，在...
张海霞苏宗明程晓亮陈号天宋宇
PECVD SiC薄膜的应力控制及抗腐蚀特性研究
运用低温的PECVD方法进行了SiC薄膜的制备,通过改变关键工艺参数,如气体流量,功率等,研究工艺参数对SiC薄膜应力的影响,制备出低应力的SiC薄膜。研究了退火工艺、离子注入工艺对薄膜应力的影响,使得薄膜应力可控制,将...
郭辉王煜张海霞田大宇张国炳李志宏
关键词：微机电系统碳化硅应力离子注入抗腐蚀
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可拉伸摩擦发电机和制备方法
本发明实施例提供了一种可拉伸摩擦发电机和制备方法。所述可拉伸摩擦发电机包括：可拉伸衬底、第一可拉伸电极、第二可拉伸电极、由第一可拉伸摩擦材料组成的正极性摩擦层、由第二可拉伸摩擦材料组成的负极性摩擦层；其中，所述第一可拉伸...
张海霞陈学先宋宇陈号天张进鑫
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一种碳纳米管可拉伸电极的制备方法
本发明提供了一种碳纳米管可拉伸电极的制备方法。该方法包括：将碳纳米管的溶液与微球的溶液通过物理方法进行混合，形成混合液；获取玻璃衬底，将所述混合液淀积至玻璃衬底上静置晾干，形成混合物；在所述混合物上加入液态可拉伸材料，静...
张海霞苏宗明宋宇陈号天
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