王学亮
- 作品数：32 被引量：33H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>
- 一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构
- 一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的压电驱动器产生的热功率影响成像质量、电容传感器无法进行远距离传输和调节时间长的问题。本发明包括控制机箱、功放机箱、电平转换机箱、...
- 李佩玥崔洋尹志生郑楠王学亮
- 文献传递
- 一种用于光学测量的积分球装置
- 一种用于光学测量的积分球装置，涉及光学测量技术领域，它解决现有积分球装置结构的对称性差、光源发热控制不力和采样口通光量不可调节的问题，本发明装置的第一半积分球球壳与第二半积分球球壳紧固在一起形成一个空心球壳；中心挡光板固...
- 巩岩倪明阳赵磊张巍王学亮袁文全
- 文献传递
- 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置
- 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决现有光刻投影物镜的加工制造过程中光学镜片的支撑由于受到装调力和加工误差的影响，降低镜片的面形精度的问题，该装置包括支座和镜框，镜片通过...
- 倪明阳巩岩张巍赵磊王学亮袁文全
- 文献传递
- 尺蠖式压电陶瓷驱动电源设计被引量：2
- 2014年
- 为了满足尺蠖式压电陶瓷驱动器的控制需要,设计了相应的驱动电源。DSP是控制器,通过网口接收上位机的控制命令,通过异步总线与FPGA进行数据通信,FPGA操作4路D/A生成4路满足相应时序要求的波形,波形经过精密运放前级放大和由分立元器件搭建的功率放大,输出到尺蠖式压电陶瓷驱动器的电源输入端。测试和试验表明,电源带宽高,纹波小,阶跃响应特性和动态特性良好,能够精确的控制尺蠖式压电陶瓷驱动器微位移定位,可以应用在精密工程技术领域中。
- 郑楠王学亮李佩玥
- 关键词：压电陶瓷驱动器驱动电源微位移
- 高精度物镜波纹管致动器的线性度分析
- 2011年
- 采用有限元方法对高精度物镜波纹管致动器的几何非线性变形进行了分析,并引入线性度对波纹管致动器的性能进行了评估.通过有限元方法分析了常见的U型、S型、C型、方型及三角型波纹管的几何非线性变形,并结合最小二乘法,得到了上述各种波纹管致动器的行程及线性度.计算结果表明:在设计大行程波纹管致动器时,S型波纹管的线性度最好,为0.161%;而在设计小行程波纹管致动器时,三角形波纹管的线性度最好,为0.135%.
- 袁文全巩岩张巍王学亮倪明阳赵磊
- 关键词：气动波纹管有限单元法
- 压电陶瓷驱动装置
- 本发明涉及位移控制技术领域，尤其涉及一种压电陶瓷驱动装置，包括一电压基准、一微处理器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一电压放大器、第二电压放大器及压电陶瓷，微处理器的两输出端分别与所述第一数模转换器及第二数模转换器的...
- 王学亮李佩玥张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
- 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Z轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平...
- 巩岩张巍倪明阳赵磊王学亮袁文全
- 基于液晶显示器的白场仪设计及其实现被引量：4
- 2011年
- 研制了一种可用于现场标定色彩测量仪器的白场仪。该白场仪系统基于液晶显示器,以FPGA结合Flash的方式实现,通过对白场校准信息的记录和复现,可以输出标准白场图像。针对白场仪的硬件系统和软件系统,分别设计实现了FPGA控制板、液晶显示器的SVGA信号驱动和并行NOR Flash ROM控制器驱动。经测试,该白场仪系统运行稳定可靠,经计量部门校准后可以生成色温可调整的标准白场,输出亮度误差在24h内小于0.50%。
- 王学亮巩岩赵磊
- 关键词：液晶显示器FPGA
- 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法
- 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法，涉及一种光学元件重力补偿的装置及方法，它解决了现有光学元件重力补偿装置安装调试困难，制造成本高，无法实现光学元件的中心区域补偿等问题，它包括第一镜筒单元组件、第二镜筒单...
- 赵磊巩岩张巍倪明阳王学亮袁文全
- 文献传递
- 一种可双向调节缝宽的狭缝调整装置
- 一种可双向调节缝宽的狭缝调整装置，涉及光学精密机械技术领域，它解决了现有可调狭缝装置的机械结构复杂、加工工艺性不好、尺寸较大，并且组装困难，同时存在成本较高的问题，本发明装置包括调节螺杆、两个狭缝刀片、带主体基座、上盖、...
- 倪明阳巩岩张巍赵磊王学亮袁文全
