李红军
- 作品数：15 被引量：94H指数：6
- 供职机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>
- 离子束刻蚀过程中台阶侧壁倾斜现象研究被引量：2
- 2000年
- 从标量衍射理论出发 ,在傅立叶光学的基础上 ,建立一个数学模型 ,分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响。并通过实验 ,分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素 ,确定离子束刻蚀菲涅耳透镜的最佳工艺参数。
- 李红军卢振武廖江红翁志成
- 关键词：离子束刻蚀
- 灰度掩模技术被引量：23
- 2000年
- 二元光学被誉为“1 990年代的光学技术” ,在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景。衍射光学元件有很多制作方法 ,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法。二元光学元件加工方法存在周期长、成本高且对准较困难的缺点。激光或电子束直写技术所需设备比较昂贵 ,只适合高精度单件生产。介绍了近来发展起来的另一种比较有前途的加工方法一灰度掩模法 ,并展望了其发展前景。
- 李红军李凤有于利民曹颖静卢振武廖江红翁志成
- 关键词：二元光学衍射光学元件激光直写灰度掩模
- 华北山前平原农田关键带观测研究平台(栾城关键带观测平台)被引量：4
- 2021年
- 中国科学院栾城农业生态系统试验站(以下简称"栾城站")位于华北太行山前冲洪积平原的中段,是地下水灌区高产农业生态类型的典型代表。由于近几十年来大规模、高强度的农业生产,区域地下水超采严重,地下水污染风险加剧。然而,人类活动影响下的地表生态系统与地下含水层被厚包气带隔开,地表农业生产活动对地下水水量和水质的影响机理尚不明确。目前,开展贯穿整个包气带的原位监测试验,是揭示这一过程机理的唯一途径。因此,建立大型农田关键带观测平台,是开展农业与地下水关系研究的重要需求。在中国科学院野外站网络重点科技基础设施建设项目的支持下,栾城站建设的"栾城关键带观测平台",通过对作物根系层—深层包气带—饱和带的土壤水、热、溶质等关键要素和变量的监测,可开展水分、溶质和污染物在厚包气带内的运移、转化规律研究,揭示饱和—非饱和过渡带水文过程及其与地下水补给关系,阐明农田生产活动的水肥迁移、转化及其对地下水量质变化的影响机制,为回答地表过程对地下水量质演化影响机理提供实验平台支持。
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- 菲涅耳透镜制作及其在CCD相机中的应用被引量：2
- 2001年
- 衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用．使用薄膜沉积法和离子束刻蚀法制作１６阶菲涅耳透镜，应用于折衍混合ＣＣＤ相机．进行ＣＣＤ相机光学系统成像质量评价和室外成像实验．该透镜的引入，不仅改善系统成像质量，而且实现了系统的轻量化、小型化，增加了系统设计的自由度．
- 李红军卢振武廖江红翁志成
- 关键词：CCD相机菲涅耳透镜离子束刻蚀衍射效率
- 入射光波波长对菲涅耳透镜衍射效率的影响被引量：2
- 2001年
- 使用离子束刻蚀法成功制作高衍射效率 16阶菲涅耳透镜。菲涅耳透镜的衍射效率是评价菲涅耳透镜质量的一个重要指标。对于宽带光学系统 ,除设计、制作误差外 ,入射光波波长对菲涅耳透镜的衍射效率也有影响。针对宽带折衍混合光学系统 ,分析不同入射光波波长对菲涅耳透镜衍射效率的影响。使用四种不同光源 ,对菲涅耳透镜的衍射效率进行测试。指出在短波方向 ,衍射效率下降较多 ;在长波方向 。
- 李红军李凤友卢振武廖江红翁志成
- 关键词：菲涅耳透镜衍射效率
- 二元光学元件制作过程中的线宽误差被引量：9
- 2000年
- 基于标量衍射理论 ,首先得出线宽增加情况下 4阶二元光学元件衍射效率的解析式 ;并以 4阶、8阶二元光学元件为例 ,进行计算机模拟并系统分析线宽增加和线宽减小两种情况下 ,线宽误差对二元光学元件衍射效率的影响。指出线宽误差对二元光学元件衍射效率影响较大。模拟计算结果对二元光学元件的制作提供重要的理论指导。
- 李红军赵晶丽卢振武廖江红翁志成
- 关键词：二元光学元件衍射效率
- 表面反射对菲涅耳透镜的影响被引量：1
- 2001年
- 使用薄膜沉积法制作 16阶菲涅耳透镜 ,用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化 ,并增加系统设计的自由度。在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析SiO2 薄膜和基底的表面反射对菲涅耳透镜 - 1级衍射效率的影响 ,结果表明表面反射对菲涅耳透镜的成像质量影响较大 。
- 李红军卢振武廖江红翁志成郑宣明赵晶丽
- 关键词：菲涅耳透镜衍射效率成像质量光学元件
- 激光直接写入工艺的研究被引量：13
- 2001年
- 本文介绍了四轴激光直接写入系统 ,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究 ,讨论了在不同离焦情况下 ,胶层内光斑的大小和强度分布 ,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为 2 0μm的线光栅和线宽为 10 μm的分划板 。
- 李凤友卢振武张殿文李红军赵晶丽丛小杰翁志成
- 关键词：光刻
- 对准误差对菲涅耳透镜衍射效率的影响被引量：4
- 2000年
- 基于标量衍射理论 ,在傅立叶光学的基础上 ,首先得出存在对准误差情况下 4台阶菲涅耳透镜衍射效率的解析式 ;并以 4台阶、8台阶、16台阶菲涅耳透镜为例 ,系统分析对准误差对衍射效率的影响并进行计算机模拟研究。模拟计算结果对正在进行的
- 李红军卢振武廖江红翁志成
- 关键词：菲涅耳透镜计算机模拟衍射效率
- 离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜被引量：7
- 2001年
- 由于衍射光学元件独特的色散特性及体积小、重量轻可进行复制等优点 ,它在国防、生产及科研等领域的作用越来越重要 ,应用于光学成像系统 ,不仅能改善系统成像质量 ,而且能实现系统的轻量化、小型化 ,增加系统设计的自由度。使用离子束刻蚀法制作的 1 6阶菲涅耳透镜应用于折衍混合CCD相机 ;测量菲涅耳透镜的衍射效率并分析了影响衍射效率的因素。
- 李红军卢振武廖江红翁志成王乃强刘金声
- 关键词：衍射光学元件离子束刻蚀菲涅耳透镜衍射效率
