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李健光
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
安俊明
内蒙古大学物理科学与技术学院物...
王红杰
中国科学院半导体研究所
胡雄伟
中国科学院半导体研究所
李健
中国科学院半导体研究所
夏君磊
中国科学院半导体研究所
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SiO_2/Si波导应力双折射数值分析
被引量:3
2005年
采用有限元法对SiO2/Si掩埋光波导制备工艺中的应力变化进行了系统的分析,在此基础上,应用有限差分束传播法(FDBPM)对应力光波导的双折射进行了计算.结果表明上包层的玻璃化过程是SiO2/Si波导形成水平方向和垂直方向应力差的主要原因,相应的应力双折射系数B在10-4量级.进一步的分析表明上包层B,P重掺杂可明显减小波导的双折射系数.
安俊明
班士良
梁希侠
李健
郜定山
夏君磊
李健光
王红杰
胡雄伟
关键词:
SIO2/SI
波导
双折射
基于SOI AWG的单纤三向器研制
本文采用绝缘层上硅(SOI)阵列波导光栅(AWG)结构制备了光纤到户用单纤三向器(Triplexer)。输出模场测试结果表明三个波长输出光斑清晰,实现了1490nm和1550nm下行波长的分波和1310nm波长的上传功能...
安俊明
李俊一
吴远大
李健光
王红杰
胡雄伟
关键词:
光纤到户
单纤三向器
阵列波导光栅
绝缘层上硅
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