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朱晓阳

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：河南大学特种功能材料教育部重点实验室更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化物
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇金属
  • 1篇金属氧化物
  • 1篇刻蚀
  • 1篇PT/C
  • 1篇U薄膜
  • 1篇AFM

机构

  • 1篇河南大学

作者

  • 1篇戴树玺
  • 1篇程纲
  • 1篇万绍明
  • 1篇张兴堂
  • 1篇王书杰
  • 1篇杜祖亮
  • 1篇朱晓阳

传媒

  • 1篇中国科学（G...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于AFM刻蚀的金属氧化物纳米结构构筑被引量：1
2008年
利用原子力显微镜(AFM)接触模式机械刻蚀的方法,在双层金属Pt/Cu电极表面进行纳米结构的构筑,通过分析不同加工参数(针尖上施加的载荷大小,扫描速度,循环次数)对加工结构尺寸的影响,能得到结构尺寸任意控制的纳米图案.通过在空气中自然氧化和选择合适的参数,得到了铂-氧化铜-铂的纳米结构.用导电模式AFM和摩擦力图像对该结构进行了原位检验,发现在加工区域内出现了明显的半导体特征,对应的摩擦力图像同样直观显示出这种结构是由两种不同材料构成.结果表明采用这种特殊的AFM刻蚀方式,可作为加工新型金属氧化物半导体纳米电子器件的重要手段.
朱晓阳程纲王书杰戴树玺万绍明张兴堂杜祖亮
关键词：原子力显微镜
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