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曹芒
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李达成
清华大学机械工程学院精密测试技...
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清华大学机械工程学院精密仪器与...
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清华大学机械工程学院精密仪器与...
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1991
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1990
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1985
共
67
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在线表面粗糙度外差干涉仪中测量信号的自动电压控制
1997年
光外差表面粗糙度在线干涉测量仪中,待测表面粗糙度的差异,使得从待测表面返回的测量信号在幅度上有很大的起伏,而使表面粗糙度测量结果的精度大大降低。本文着重讨论了测量信号的自动电压控制的原理及设计中的考虑,所制作的自动电压控制电路输入信号峰-峰值的动态范围1mV~5V,输出信号峰一峰值最大变化小于±10mV。结出了实验结果。
赵洪志
梁嵘
李达成
曹芒
关键词:
外差干涉仪
表面粗糙度
自动电压控制
五角棱镜在建立大尺寸平面基准中的应用
被引量:13
1998年
从五角棱镜的原理和特性出发,叙述了利用五角棱镜扫描建立大平面基准过程中,由于加工角差和当五角棱镜相对入射光束有相对运动时其出射光束的横移对平面基准的影响,提出了用衍射成像技术消除光束横移,数据计算修正棱镜的角度差的影响。
郝群
赵洋
曹芒
李达成
关键词:
五角棱镜
表面粗糙度干涉仪中光探针的自动聚焦控制
1998年
要保证测量光聚焦在待测表面,自动聚焦控制是非常重要的。文中给出了基于离焦检测的自动聚焦控制原理和技术实现,其聚焦灵敏度达0.1μm,聚焦范围0.5mm,频带宽度为40Hz。它为表面粗糙度干涉仪的高分辩率测量提供了保证,并为实验所证实。该技术具有很强的实用开发价值。
赵洪志
梁嵘
曹芒
李达成
关键词:
粗糙度
干涉仪
自动聚焦
信号检测
声光外差干涉精密动态角度测量系统
被引量:6
1995年
本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪.使用普通氦-氖激光器,采用声光调制、光外差干涉、电信号混频、比相技术,可得到较高的测量分辨率.干涉仪结构简单调整方便。
李向
王佳
赵洋
李达成
曹芒
关键词:
外差干涉
声光调制
CCD玻璃管几何参数在线检测系统的研制
被引量:1
1996年
本文结合HDY-l型玻璃管参数在线检测系统的研制,介绍了检测的基本原理,并根据现场出现的干扰因素采取了相应的措施加以补偿,实现了玻璃管几何参数的在线高精度监测。
王林
赵泽
王佳
李达成
曹芒
关键词:
电荷耦合器件
测试仪
在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪
新型的、用于磨床上在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。仪器体积小(25×20×10cm<'3>)、抗外界环境干扰能力强。该仪器以稳定频半导体激光器(LD)作为光源。共光路...
梁嵘
李达成
曹芒
赵洪志
武勇军
关键词:
表面粗糙度
共光路
外差干涉
自动聚焦
用激光和CCD在线测量大外径
被引量:2
1995年
本文介绍了一种实用化的大型工件外径测量方法.用准直激光分别瞄准吸附于工件两端的磁性定位块,由四家限光电池接收判断。轻质粗糙导轨造成误差由CCD器件探测并加以补偿,用激光干涉仪完成测长.
张剑敏
王佳
李达成
曹芒
赵洋
关键词:
激光
CCD
直径
机械零件
外径
线性调频半导体激光定位的研究
1995年
提出了一种新的半导体激光定位技术,介绍了它的定位原理、装置和实验结果.它利用半导体激光器的线性调频特性来实现干涉零点的动态定位,突破了传统白光定位的局限,简化了干涉仪设计,并实现了大范围内的零点捕捉,是一种实用的干涉定位技术.
韩劲松
赵洋
李达成
曹芒
王佳
关键词:
半导体激光器
线性调频
激光平行度与垂直度测量仪及其测量方法
本发明属于激光平面度与垂直度测量仪及其测量方法,采用三个回转轴系,二个或三个五角棱镜组成的系统实现平行度与垂直度的测量,结构简单,使用灵活,通用性强,成本比较低,自动采集处理数据,速度快,测量精度高。
李达成
曹芒
董艳玲
王佳
表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势
被引量:21
1998年
由于表面加工质量的不断提高,对微观形貌测量技术提出了更高的要求。传统触针式轮廓仪测量具有稳定、可靠、测量动态范围大等优点,但会划伤被测表面;而非接触式形貌测量技术克服了接触式测量易划伤表面的缺点,它主要包括光学散射法、各种光探针法、光学显微干涉法以及采用SEM、STM、光子隧道显微镜和原子力显微镜(AFM)来探测表面微观形貌的方法。各种测量方法均有其优点和局限性。光学测量方法由于受衍射限制,使其横向分辨率很难提高,在测量大斜率及台阶表面时,测量误差很大。而AFM被公认为是一种理想的表面微观形貌测量方法。此外,在表面微观形貌评定方面,国际上正积极探索各种三维评定参数以取代原来的二维参数。
梁嵘
李达成
曹芒
赵洋
关键词:
表面微观形貌
测量技术
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