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时康

作品数:58 被引量:18H指数:3
供职机构:厦门大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金福建省自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信金属学及工艺生物学更多>>

文献类型

  • 35篇专利
  • 14篇会议论文
  • 8篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 15篇理学
  • 5篇电子电信
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇生物学
  • 2篇电气工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 36篇电化学
  • 19篇抛光
  • 18篇刻蚀
  • 17篇电极
  • 15篇半导体
  • 13篇电化学刻蚀
  • 13篇机械抛光
  • 13篇光电化学
  • 11篇抛光垫
  • 11篇晶片
  • 10篇纳米
  • 9篇半导体晶片
  • 6篇碳电极
  • 6篇紫外光源
  • 6篇纳米加工技术
  • 6篇光源
  • 5篇自由基
  • 5篇金属
  • 5篇化学机械抛光
  • 4篇电化学制备

机构

  • 50篇厦门大学
  • 12篇大连理工大学
  • 1篇香港浸会大学

作者

  • 58篇时康
  • 20篇田中群
  • 11篇康仁科
  • 8篇朱祥龙
  • 8篇董志刚
  • 7篇田昭武
  • 7篇周平
  • 6篇詹东平
  • 4篇王胜
  • 4篇王文婧
  • 4篇周剑章
  • 4篇王成
  • 4篇胡坤
  • 3篇方秋艳
  • 3篇雷瑛
  • 3篇韩联欢
  • 2篇张力
  • 2篇杨永学
  • 2篇蒋利民
  • 2篇祖延兵

传媒

  • 4篇电化学
  • 3篇第十四次全国...
  • 2篇物理化学学报
  • 2篇中国化学会第...
  • 1篇福州大学学报...
  • 1篇大学化学
  • 1篇首届全国高等...
  • 1篇中国化学会第...
  • 1篇第十三次全国...
  • 1篇中国化学会第...
  • 1篇中国化学会第...

年份

  • 1篇2024
  • 3篇2023
  • 2篇2022
  • 4篇2021
  • 2篇2020
  • 8篇2019
  • 4篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 5篇2013
  • 4篇2012
  • 2篇2011
  • 4篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 4篇2007
  • 1篇2006
  • 2篇2005
58 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种半导体摩擦光电化学的测量装置及测量方法
本发明提供了一种半导体摩擦光电化学的测量装置,包括:电机;导电滑环,套设于电机的转轴上;电解池,底部设有透光底座,其底部与电机的转轴转动连接,顶部设有圆环凹槽;对电极,嵌套于圆环凹槽内,并从导电滑环穿出;抛光垫,设于透光...
时康张明明乔立青刘宝全欧李苇
一种氮化镓半导体光电化学刻蚀液及加工方法
本发明公开了一种氮化镓半导体光电化学刻蚀液及加工方法,采用纯水由如下原料按摩尔浓度配成:5‑40mM过一硫酸氢钾复合盐(K<Sub>2</Sub>SO<Sub>4</Sub>·KHSO<Sub>4</Sub>·2KHSO...
时康胡慧勤郭赛
文献传递
一种平面碳膜电极的制备方法
本发明公开了一种平面碳膜电极的制备方法,涉及电化学微纳米加工技术领域。具体步骤是:将光刻胶均匀地旋涂在导电基体上,随后在具有一定压力的惰性气体保护下,通过程序升温使光刻胶依次发生软化和碳化,并最终形成导电碳膜;最后采用树...
王成时康康仁科田中群杨永学单坤张红万周剑章周平詹东平张艺程
文献传递
一种氮化镓晶片光电化学机械抛光液及抛光方法
本发明公开了一种用于紫外辅助化学机械抛光的抛光液及其方法,包括纳米磨粒和氧化剂;所述纳米磨粒的含量为0.05‑20wt.%;所述氧化剂的含量为0.1‑10wt.%。本发明提供的抛光液主要用于氮化镓晶片的紫外辅助化学机械抛...
康仁科董志刚欧李苇时康朱祥龙周平
电化学活化玻碳电极与其它sp<'2>杂化碳材料电极的电化学性质比较研究
本文以维它命C(AA〕和多巴胺(DA)为电化学分子探针,调查了采用不同电化学活化方法活化的玻碳电极表面的电化学性质,并与各种碳纳米管(swrrT和MWNT)和石墨碳粉颗粒表面的电化学性质进行比较。实验发现AA的电化学氧化...
胡坤王胜时康
关键词:玻碳电极电化学性质
文献传递
电化学活化玻碳电极应用于铅离子的电分析检测被引量:1
2003年
经电化学活化后的玻璃碳电极可吸附溶液中的铅离子.吸附铅的循环伏安阳极峰电流值与溶液中铅离子浓度成一定的线性关系,在0.1-1.0μmol/L,线性系数为0.998,响应斜率为50.0A/(mol·L-1),检测下限小于0.01μmol/L.铅离子的吸附与静电反应及活化玻碳电极的微观环境有关.
时康
关键词:电化学玻璃碳电极铅离子电分析
一种半导体晶片光电化学机械抛光加工装置
本发明公开了一种半导体晶片光电化学机械抛光加工方法及其加工装置,晶片通过导电胶粘接固定在抛光头上,晶片再其下方通过导电滑环内外圈的导线连接外电源正极。抛光垫粘贴在对电极盘底部,对电极盘固定在抛光盘底部且与抛光盘对应位置加...
康仁科时康董志刚欧李苇朱祥龙周平
文献传递
基于距离敏感电化学刻蚀的纳米加工新方法
减小微系统中器件的特征尺寸并提高其表面质量是提升微系统性能的关键共性问题.然而,随着器件的特征尺寸缩减至纳米量级,各种基于材料去除途径的传统加工技术难以在不损伤加工面的前提下,实现纳米平整精度的大面积表面平坦化和纳米尺度...
王成张劲福吴丹张红万王亚会田昭武田中群时康
纳米精度的电化学整平和抛光加工方法及其装置
纳米精度的电化学整平和抛光加工方法及其装置,涉及一种电化学刻蚀整平和抛光技术。装置设有具有纳米平整精度的刀具、可将刻蚀整平剂液层厚度精确控制在纳米尺度内的电化学反应控制体系、溶液循环装置、溶液恒温装置和自动化控制系统。制...
田中群时康詹东平田昭武韩联欢汤儆
光诱导约束刻蚀体系中羟基自由基生成的影响因素被引量:4
2013年
采用荧光分析,暂态光电流响应分析,电化学交流阻抗谱(EIS)和Mott-Schottky响应分析考察了外加电位,光照时间,溶液pH等几个关键因素对光诱导约束刻蚀体系中TiO2纳米管阵列表面游离OH生成的影响.结果表明:当外加电位为1.0 V时,光电协同产生游离OH效率最高;OH的光催化生成与消耗能很快达到稳态,形成稳定的约束刻蚀剂层,有利于保持刻蚀过程中的精度;当pH为10时,TiO2纳米管光催化产生游离OH效率最高.研究结果对于调控和优化光诱导约束刻蚀平坦化铜的溶液体系,提高铜的刻蚀速度或平坦化精度有重要的指导意义.
胡艳方秋艳周剑章詹东平时康田中群田昭武
关键词:荧光检测TIO2纳米管阵列
共6页<123456>
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