徐玮鹤
- 作品数：5 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究
- 电容式微加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点，可以广泛应用在对性能要求较高的领域，如惯性导航、空间微重力测量及石油勘探等。其结构通常可以分为梳齿式和三明治式两种。梳齿结构工艺比较简单，但受DRIE工艺的...
- 徐玮鹤
- 关键词：电容式加速度传感器谐振频率
- 文献传递
- 对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法
- 本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组成。每根直弹性梁的一端连接在...
- 车录锋徐玮鹤熊斌戈肖鸿王跃林
- 文献传递
- 一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器被引量：6
- 2007年
- 提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制作,然后采用硼硅玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合.在完成整体结构圆片级真空封装的同时,通过引线腔结构方便地实现了中间电极的引线.传感器芯片大小为6.8mm×5.6mm×1.68mm,其中敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm×0.84mm.对封装的传感器性能进行了初步测试,结果表明制作的传感器漏率小于0.1×10-9cm3/s,灵敏度约为6pF/g,品质因子为35,谐振频率为489Hz.
- 徐玮鹤车录锋李玉芳熊斌王跃林
- 关键词：电容式加速度传感器
- 一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器被引量：7
- 2008年
- 提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合。在完成整体结构圆片级真空封装的同时通过引线腔结构方便地实现了中间电极的引线。传感器芯片大小为6.8mm×5.6mm×1.26mm,其中敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm×0.42mm。对封装的传感器性能进行了初步测试,结果表明制作的传感器灵敏度约4.15pF/g,品质因子为56,谐振频率为774Hz。
- 徐玮鹤林友玲车录锋李玉芳熊斌王跃林
- 关键词：电容式加速度传感器
- 对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法
- 本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组成。每根直弹性梁的一端连接在...
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