张继静
- 作品数：16 被引量：18H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 化学机械抛光终点检测技术研究被引量：3
- 2016年
- 化学机械抛光是晶圆全局平坦化的核心技术,其中有效的终点检测是影响抛光效果的关键。若不能有效地监测抛光过程,便无法避免晶圆抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP原理与应用的基础上,系统分析了CMP终点检测技术的多种应用方法及其优缺点。
- 张继静李伟宋婉贞
- 关键词：晶圆平坦化化学机械抛光
- 高精度模糊自整定温度控制系统研究
- 2011年
- 针对半导体专用设备对温度的特殊要求,采用了一种基于模糊算法、对加热对象适应能力较强的变参数温度控制系统,通过在某半导体专用设备中使用考核,该控制系统控制精度、对控制对象的适应能力、抗冲击能力以及稳定性得到了很好地验证。
- 李金涛颜向乙尚美杰张继静
- 关键词：半导体设备温度控制模糊自整定自学习
- 基于超声扫描设备的双直线电机驱动技术
- 2015年
- 为了提高超声扫描检测设备的扫描速度和检测效率,提出了使用龙门式双直线电机驱动机构,并选择了最优的运动控制算法。通过使用双直线电机驱动,改善了原来单边驱动产生偏摆以及速度低等缺陷,控制效果良好。
- 张继静
- 关键词：超声扫描
- CMP设备修整器防撞机构设计
- 2022年
- 介绍了一种用于晶圆化学机械抛光(CMP)设备修整器模块的防撞机构,在控制异常或控制参数设置不合理的情况下,可以精确地避免修整器与抛光头碰撞。经过大量工艺实验证明,其防撞性能稳定、可靠,而且控制效果良好。
- 张继静刘福强张金环田知玲
- 关键词：修整器CMP设备防撞
- 声学扫描检测系统的运动控制方法研究
- 2014年
- 介绍了一种典型的声学扫描检测系统所采用的运动控制方法,重点对扫描轴的精度调节进行了研究,提出了一种具体的PID调节方法,实现了系统的高精度控制。
- 黄晓鹏张继静吕荣华
- 关键词：运动控制闭环控制
- 有机清洗槽共振与噪声控制方法研究被引量：1
- 2012年
- 通过实验对有机清洗槽内抖动机构工作时的噪声值进行了定量评估。对可能引起共振和噪声的因素进行分析,并从降低噪音的角度出发,针对主要因素进行设计改进。改进后再进行实验,结果表明效果较好。
- 万弋张继静刘鸿儒
- 关键词：噪声控制清洗机
- 全自动硅片清洗设备的技术改进
- 2015年
- 全自动硅片清洗设备电气控制是以PLC、触摸屏为核心实现硅片清洗的自动化。介绍了该设备在PLC控制方面的技术改进,包括对机械臂的运动控制方式、工艺适应性以及安全性能两个方面,大大提高了设备的稳定性及安全性。
- 宋婉贞田洪涛张继静
- 关键词：安全性能
- 超声扫描设备的信息快速获取方法
- 2013年
- 介绍了超声扫描设备中的一种简单快捷的图像及其波形信息获取方法。该方法分别显示各点信息,做上标记,然后一次截取,可以同时获取多点信息,便于检测人员观察、比较,减少了信息获取时间,提高工作效率,使得单调繁琐的工作变得简单易操作,便于制作检测报告。
- 连军莉魏鹏张继静
- 磁浮平面电机在超精密工件台中的应用
- 2024年
- 为了提高半导体设备生产效率和整机性能,设备制造商想尽各种办法。介绍了超精密工件台三维模型,以及磁浮平面电机原理、组成、特性、技术指标与应用前景。同时阐述了超精密工件台采用磁浮平面电机,具有结构简单、高速度和高加速度、高精度、以及无污染产生等优点,使得它不但能够满足目前半导体设备技术发展的需求,也能满足未来半导体设备技术发展的需求。
- 王伟王文举张继静
- 关键词：半导体设备
- 超声扫描检测图像处理方法研究
- 2021年
- 为了更全面地分析器件内部的结构、特性和缺陷,使用超声扫描检测方法对器件进行检测.这种无损检测手段中多种的图像处理方法和不同的处理工具,可以使检测结果更精确,未来会有更广泛的用途。
- 张继静吕荣华连军莉
- 关键词：无损检测
