张峰
- 作品数:2 被引量:7H指数:1
- 供职机构:西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- 静电梳齿驱动结构的稳定性分析被引量:7
- 2011年
- 静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的影响因素,并进行理论分析、仿真分析和实验验证。结果表明:支撑梁结构的纵/横刚度比是影响静电梳齿驱动结构稳定性的关键因素,其比值越大,静电梳齿驱动结构的稳定性越好。
- 张峰苑伟政常洪龙丁继亮谢建兵
- 关键词:稳定性刚度
- 一种细胞分选芯片的设计、制作和实验
- 2011年
- 基于尺寸差异原理设计制作了一种硅-PDMS键合的细胞分选芯片。采用MEMS加工工艺,分别制作出特征尺寸都是20μm的3种不同形状分选孔阵列的硅基片和PDMS盖片,使用电晕放电仪实现硅-PDMS键合。用聚苯乙烯微球和MG-63人骨肉瘤细胞进行实验,微球实验说明了不同形状分选孔阵列的分选结果特征,细胞实验实现了不同大小MG-63细胞的分选.为最终实现不同种细胞分选打下了基础。
- 郝思聪常洪龙丁继亮张峰
- 关键词:细胞分选微过滤MEMS