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吴徽

作品数：3 被引量：16H指数：2
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：“九五”国家科技攻关计划国家科技攻关计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇数据采集
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇硅加速度计
  • 1篇振动测量
  • 1篇数据采集和处...
  • 1篇数据处理
  • 1篇全自动
  • 1篇牺牲层

机构

  • 3篇清华大学
  • 2篇吉首大学

作者

  • 3篇刘理天
  • 3篇吴徽
  • 2篇温明生
  • 2篇李英慧
  • 1篇杨景铭

传媒

  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇吉首大学学报

年份

  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
硅加速度计动态I/O特性的标定和数据采集被引量：4
2000年
介绍了振动台测量控制系统、标定振动g值及减小标定误差的技术 .在此基础上 ,介绍了利用HP344 0 1A型数字万用表和微型计算机进行数据采集的通信技巧和编程技巧 .利用这套系统 ,对笔者联合研制开发的仪表级压阻式硅加速度计动态I/O特性进行了大量的测试标定和数据采集处理 ,得出了可靠和满意的结果 .
刘理天温明生吴徽李英慧
关键词：数据采集硅加速度计振动测量
硅加速度计幅频特性曲线的全自动数据采集和处理技术
2001年
介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频特性全自动采集处理的硬件系统和软件技术 。
温明生李英慧刘理天吴徽
关键词：硅加速度计数据处理数据采集
表面微机械静电梳状驱动结构的研究被引量：12
1999年
静电梳状驱动器（ＥＣＳ）是包括振荡器、微加速度计、微陀螺及微电动机等在内的微机电系统的核心组成部件，可作为执行器和传感器用。该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构，在理论分析基础上，使用电容提取软件Ｆａｓｔｃａｐ和有限元分析软件Ａｌｇｏｒ进行了电学模拟和材料力学模拟，并针对灵敏度进行了优化设计。对表面微机械工艺的关键步骤进行研究和改进。释放成功的悬臂梁长度超过２００μｍ。初步电测试结果表明静电梳状驱动器工作正常。
吴徽刘理天杨景铭
关键词：牺牲层
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