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二氧化钛厚膜钯表面扩散状态对氧气响应特性影响被引量：1: 2008年; 利用二氯化钯(PdCl_2)溶液浸渍法,研究了二氧化钛(TiO_2)厚膜钯(Pd)原子表层扩散对氧气响应特性的影响。扫描电子显微镜显示:Pd扩散后厚膜表面均匀分布着纳米级Pd晶粒。利用Kroger-Vink方程分析了不同扩散时间下对应的lnR-lnpo_2曲线,针对不同斜率的曲线,用缺陷方程分析了Pd元素的分布状态。样品响应特性的伏安法测试结果显示:820℃,2h扩散的敏感膜具有理想灵敏度和响应时间。研究结果表明:Pd元素在敏感膜表面形成了纳米级Pd晶粒,并在TiO_2厚膜表层中存在着少量的钯间隙原子(Pd_i)及替位钯离子(Pd^(2+))。合理的扩散温度和扩散时间,可获得表层Pd氧化量最少、扩散浓度合适的敏感膜,进而获得效果理想的厚膜氧敏材料。; 吴向袁战恒郑程; 关键词：二氧化钛厚膜

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吴向