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吴丽君
作品数:
3
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供职机构:
有色金属研究总院
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合作作者
夏慧
有色金属研究总院
刘安生
有色金属研究总院
韩雪
有色金属研究总院
袁冠森
有色金属研究总院
王晓华
有色金属研究总院
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磁控溅射靶材
夏慧
吴丽君
韩雪
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靶材
磁控溅射
Al-Ti合金溅射薄膜的性能研究
吴丽君
夏慧
袁冠森
刘安生
王晓华
关键词:
磁控溅射
铝钛合金
TFT-LCDs配线膜的Al-Ti合金膜性能的研究
铝制作薄膜晶体管型液晶显示板(TFT-LCDs)的配线膜耐热性差,使用铬、钼、钽等高熔点金属时又产生电阻值高的问题。研究发现,在铝中加入高熔点金属(如钛、钽等)是解决问题的有效方法。该研究介绍用磁控溅射法沉积得到的Al-...
吴丽君
夏慧
关键词:
铝锂合金
耐腐蚀性能
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