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文献类型

  • 3篇国内会议论文

主题

  • 2篇溅射
  • 2篇合金
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇性能研究
  • 1篇配线
  • 1篇钛合金
  • 1篇锂合金
  • 1篇铝钛合金
  • 1篇铝锂合金
  • 1篇膜性能
  • 1篇耐腐蚀
  • 1篇耐腐蚀性
  • 1篇耐腐蚀性能
  • 1篇溅射靶材
  • 1篇腐蚀性
  • 1篇靶材
  • 1篇TFT-LC...

机构

  • 3篇有色金属研究...

作者

  • 3篇夏慧
  • 3篇吴丽君
  • 1篇王晓华
  • 1篇袁冠森
  • 1篇韩雪
  • 1篇刘安生

传媒

  • 2篇全国薄膜学术...
  • 1篇全国第六届材...

年份

  • 2篇1999
  • 1篇1997
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
磁控溅射靶材
夏慧吴丽君韩雪
关键词:靶材磁控溅射
Al-Ti合金溅射薄膜的性能研究
吴丽君夏慧袁冠森刘安生王晓华
关键词:磁控溅射铝钛合金
TFT-LCDs配线膜的Al-Ti合金膜性能的研究
铝制作薄膜晶体管型液晶显示板(TFT-LCDs)的配线膜耐热性差,使用铬、钼、钽等高熔点金属时又产生电阻值高的问题。研究发现,在铝中加入高熔点金属(如钛、钽等)是解决问题的有效方法。该研究介绍用磁控溅射法沉积得到的Al-...
吴丽君夏慧
关键词:铝锂合金耐腐蚀性能
共1页<1>
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