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南瑞华
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
供职机构:
西安理工大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
基础研究重大项目前期研究专项
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
电子电信
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合作作者
张卫华
西安理工大学材料科学与工程学院
赵卫
中国科学院西安光学精密机械研究...
赵高扬
西安理工大学材料科学与工程学院
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非金属材料
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PLT
机构
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西安理工大学
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中国科学院
作者
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南瑞华
1篇
赵高扬
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赵卫
1篇
张卫华
传媒
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电子元件与材...
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1篇
2006
1篇
2005
共
2
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PLT晶种层对PLZT薄膜介电性能的影响
被引量:3
2006年
采用sol-gel工艺,以钛酸铅镧(PLT)作为晶种层,在Pt/TiO2/Si基板上,制备了锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜。研究了有晶种层的PLZT薄膜的结晶温度及介电性能。结果表明:引入PLT晶种层的PLZT薄膜,在600℃热处理可得到良好的钙钛矿结构,比无晶种层薄膜降低了约100℃;其相对介电常数为1177(1 kHz),提高约60%,介质损耗为0.10~0.13,降低幅度最高可达40%~50%。
张卫华
南瑞华
赵高扬
赵卫
关键词:
无机非金属材料
介电性能
锆钛酸铅镧薄膜的制备与性能研究
锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜具有良好的介电、铁电和热释电等性能,在微电子、光电子等领域有着十分重要的应用。然而,其应用与开发主要取决于薄膜的质量和微图形化技术的提高。基于微图形化技术制备的铁电阵列又是制备非制冷红外探测器的...
南瑞华
关键词:
化学修饰
介电性能
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