陈长英
- 作品数:12 被引量:2H指数:1
- 供职机构:上海理工大学更多>>
- 发文基金:上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 一种基于光子晶体异质结的太赫兹隔离器
- 本发明公开了一种基于光子晶体异质结的太赫兹隔离器,包括:由第一光子晶体和第二光子晶体组成的用于接收太赫兹波入射的光子晶体异质结,分别设置在光子晶体异质结两侧用于引入太赫兹波的入射端口和用于导出太赫兹波的出射端口,其中,第...
- 袁明辉黄鑫陈长英阎祖星殷越陈麟朱亦鸣
- 文献传递
- 线性无源太赫兹隔离器的优化被引量:1
- 2015年
- 为了获得结构简单、无需外加低温和强磁场的太赫兹隔离器,采用3维时域有限差分法对1种硅基光子晶体异质结结构的太赫兹隔离器进行了理论优化分析。该隔离器结构简单,可常温工作,并且无需外加磁场。结果表明,其隔离特性与两种光子晶体的孔径有关,在孔径比例合适(在0.52THz的最优化孔径比R1/R2=0.49)的情况下可以实现25dB的最大隔离度。
- 袁明辉陈长英赵堤刘顺顺殷越阎祖星
- 关键词:非线性光学光子晶体异质结负折射
- 基于多孔硅的太赫兹滤波器
- 本发明涉及一种基于多孔硅的周期性光栅结构的太赫兹滤波器,多孔硅与高阻硅在太赫兹波传播方向上等间隔交替周期性排列,并且在输入输出端设置锥形减反结构。多孔硅区域内微孔平均孔径0.01-20μm,径深比为1:50~1:1000...
- 袁明辉赵堤刘顺顺阎祖星殷越黄鑫陈长英朱亦鸣
- 文献传递
- 非周期表面等离子体光栅型太赫兹滤波器
- 本发明提供了非周期表面等离子体光栅型太赫兹滤波器,包括具有中心圆通孔的二维金属光栅平板,金属光栅平板的上下两个表面对称设置有非周期圆环形凹槽,每个圆环形凹槽的宽度各不相同。本发明所提出的非周期牛眼结构的表面等离子体光栅型...
- 袁明辉刘顺顺赵堤黄鑫陈长英殷越阎祖星陈麟朱亦鸣
- 文献传递
- 硅基周期槽结构的刻蚀工艺研究被引量:1
- 2016年
- 针对微电子机械系统(MEMS)湿法槽刻蚀技术,基于硅材料各向异性腐蚀特性研究了硅基周期槽的湿法刻蚀工艺,得出了优化的光刻参数。通过对比实验详细分析了搅拌在腐蚀过程中起到的重要作用,实验结果显示,搅拌可以增加腐蚀溶液的流通性,使硅表面不易产生气泡形成"伪掩膜"阻碍反应的进行,从而制备出表面光滑平整的周期槽结构。同时,在搅拌的条件下对槽深和腐蚀时间的关系也做出了相应的分析。为硅微机械加工技术的进一步研究提供了参考。
- 魏玉明陈长英陈麟
- 关键词:各向异性刻蚀
- 一种太赫兹谐振腔型等离子芯片及其制备方法
- 本发明提供了一种太赫兹谐振腔型等离子芯片的制备方法,包括清洗硅基片、镀SiO<Sub>2</Sub>层、涂底、前烘、对准曝光和显影、后烘、腐蚀、去除光刻胶涂层、镀金属膜九个步骤,既简化了在硅材料中加工周期结构的加工工艺,...
- 陈麟魏凌王文纲朱亦鸣陈长英臧小飞彭滟蔡斌庄松林
- 一种基于光子晶体异质结的太赫兹隔离器
- 本发明公开了一种基于光子晶体异质结的太赫兹隔离器,包括:由第一光子晶体和第二光子晶体组成的用于接收太赫兹波入射的光子晶体异质结,分别设置在光子晶体异质结两侧用于引入太赫兹波的入射端口和用于导出太赫兹波的出射端口,其中,第...
- 袁明辉黄鑫陈长英阎祖星殷越陈麟朱亦鸣
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- 基于多孔硅的太赫兹滤波器
- 本发明涉及一种基于多孔硅的周期性光栅结构的太赫兹滤波器,多孔硅与高阻硅在太赫兹波传播方向上等间隔交替周期性排列,并且在输入输出端设置锥形减反结构。多孔硅区域内微孔平均孔径0.01-20μm,径深比为1:?50~1:100...
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- 非周期表面等离子体光栅型太赫兹滤波器
- 本发明提供了非周期表面等离子体光栅型太赫兹滤波器,包括具有中心圆通孔的二维金属光栅平板,金属光栅平板的上下两个表面对称设置有非周期圆环形凹槽,每个圆环形凹槽的宽度各不相同。本发明所提出的非周期牛眼结构的表面等离子体光栅型...
- 袁明辉刘顺顺赵堤黄鑫陈长英殷越阎祖星陈麟朱亦鸣
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- 周期性表面等离子体光栅型太赫兹滤波器
- 本发明提供了表面等离子体光栅型太赫兹滤波器,包括具有中心通槽的金属光栅平板,金属光栅平板的上下两个表面对称设置有周期性凹槽。本发明的滤波器针对太赫兹波的频率特性,采用金属平板上下两面完全对称的周期性的凹槽陷波结构来实现滤...
- 袁明辉赵堤刘顺顺黄鑫陈长英阎祖星殷越陈麟朱亦鸣
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