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谢海

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇半导体
  • 1篇在线检测
  • 1篇分析仪器
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体工艺设...
  • 1篇I-V
  • 1篇测试仪
  • 1篇V
  • 1篇I
  • 1篇C-V

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇谢海
  • 1篇陈光遂
  • 1篇高捷
  • 1篇陈之昀
  • 1篇邵志标
  • 1篇孙志刚
  • 1篇徐伟明
  • 1篇李同合
  • 1篇钱伟

年份

  • 1篇2005
  • 1篇1996
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
半导体I-V参数分析仪的研制及其应用
谢海
关键词：分析仪器
C-V测试仪
陈光遂高捷李同合陈之昀邵志标徐伟明孙志刚谢海钱伟
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1、成果简介：该系统是大规模集成电路及半导体分立器件及半导体分立器件上生产线上工艺在线检测测的重要设备。生产流程一旦发现问题，利用它可以在氧化、扩散、离子注入、电子束蒸发铝、外延...
关键词：
关键词：半导体工艺设备在线检测
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共1页<1>
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