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蒲勇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇扩散
  • 1篇高指标
  • 1篇高温扩散
  • 1篇U

机构

  • 2篇信息产业部

作者

  • 2篇罗卫国
  • 2篇袁章其
  • 2篇蒲勇
  • 1篇罗亮
  • 1篇伍波
  • 1篇向小龙
  • 1篇张勇
  • 1篇彭筱玲
  • 1篇曾晓斌
  • 1篇谢建国
  • 1篇袁勇

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2002
  • 1篇2000
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统
张勇袁章其罗卫国向小龙蒲勇彭筱玲伍波袁勇罗亮谢建国曾晓斌
该项目为M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统的研制，任务属于横向任务，是根据用户信息产业部电子第十八研究所的要求而研制的，系统采用了先进的外燃式氢氧合成工艺手段。氢氧合成利用了氢气气体在585℃着火的特点。系统在反应...
关键词：
关键词：扩散
液相外延系统中高指标热场的实现
2000年
高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。
袁章其罗卫国蒲勇
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