蒋书森
- 作品数：9 被引量：15H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术化学工程更多>>
- 一种获得纳米间隙电极的接触光刻方法
- 2013年
- 提出一种称之为"阵列误差光刻"的方法。采用两次接触光刻和两次金属剥离工艺,形成两组顶端相对的电极阵列,利用第二次接触光刻时的对准误差,在这两组电极之间按照概率分布形成了一个最小的纳米间隙。设计并制作了一种含有16对电极的验证器件,按照光刻对准误差的范围为±2.0μm进行估算,理论上最小间隙的分布范围为0～150 nm。通过扫描电镜测量实际制造的样品,获得了大量50 nm以下的电极对,最小间隙为16.6 nm,并且制备的电极层厚度可以达到200 nm,使串联电阻较小。这种纳米间隙电极的制备方法简单有效。
- 张玉龙张艳蒋书森
- 关键词：电极对纳米电子学
- 一种薄膜晶体管及其制备方法
- 本发明提供了一种薄膜晶体管，包括自下到上依次设置的栅极、绝缘层和有源层；所述有源层上设置有源电极和漏电极；所述有源层包括在绝缘层表面依次交替层叠排列的氧化铟层和氧化钛层。本发明通过将有源层设置为交替层叠排列的氧化铟层和氧...
- 蒋书森张玉龙吕文龙崔景芹
- 文献传递
- 一种薄膜晶体管及其制备方法
- 本发明提供了一种薄膜晶体管，包括自下到上依次设置的栅极、绝缘层和有源层；所述有源层上设置有源电极和漏电极；所述有源层包括在绝缘层表面依次交替层叠排列的氧化铟层和氧化钛层。本发明通过将有源层设置为交替层叠排列的氧化铟层和氧...
- 蒋书森张玉龙吕文龙崔景芹
- 音箱前壳注塑模具的改进设计
- 2007年
- 分析音箱前壳塑件工艺性和模具设计中的难点。提出了塑件结构和模具结构的改进方案，避免塑件注不满、黏定模等缺陷。详细介绍型腔表面电火花加工技术和浇口设计方案。
- 曾毅波张艳蒋书森
- 关键词：潜伏浇口
- 一种氮化铝-氧化铝薄膜及其制备方法和应用
- 本发明提供了一种氮化铝‑氧化铝薄膜及其制备方法和应用，属于电子器件技术领域。本发明提供的氮化铝‑氧化铝薄膜的制备方法先将衬底升温至150～350℃，得到待沉积硅衬底；在真空条件下，向原子层沉积室通入三甲基铝气流，得到第一...
- 蒋书森吕文龙
- 文献传递
- 硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法
- 硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法，涉及一种电子元器件的散热芯片。提供一种能够克服以上硅基散热器的缺点，提高硅基散热器散热效能的硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法。散热芯片为上下两层结构，分别为上硅片和下硅片，在上硅...
- 张玉龙张保平罗仲梓蒋书森张艳谷丹丹张春权李燕飞
- 文献传递
- 用于制作硅基微纳米流体通道的键合技术研究
- 键合技术在整个微纳器件发展过程中一直是非常重要的微加工工艺之一，在经过近20年的快速发展，键合技术无论在硅表面及体微加工，非硅材料微加工工艺上都具有非常重要的作用，在对于传感元件、生物芯片、光学器件、射频器件等等的制作都...
- 蒋书森
- 关键词：键合技术物理特性
- 激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用被引量：15
- 2008年
- 研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平。
- 曾毅波蒋书森黄彩虹张玉龙张艳
- 关键词：激光共焦扫描显微镜微机电系统形貌分析
- 硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法
- 硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法，涉及一种电子元器件的散热芯片。提供一种能够克服以上硅基散热器的缺点，提高硅基散热器散热效能的硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法。散热芯片为上下两层结构，分别为上硅片和下硅片，在上硅...
- 张玉龙张保平罗仲梓蒋书森张艳谷丹丹张春权李燕飞
- 文献传递
