田超群
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：长春理工大学更多>>
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- 中红外半导体激光器GaSb基材料的刻蚀研究被引量：6
- 2013年
- 锑化物半导体激光器在中红外波段具有广泛的应用前景。针对目前GaSb基材料的刻蚀工艺存在的问题,对现有的GaSb基材料的湿法刻蚀工艺进行了改进,实验分别用氢氟酸系和磷酸系对GaSb材料进行湿法刻蚀,并在两种酸系溶液中分别加入酒石酸进行对比试验。实验分析表明,这两种腐蚀液对GaSb材料都有较好的刻蚀效果,腐蚀速率稳定,适当调整腐蚀液组分可以调控腐蚀速率,刻蚀后形貌良好,材料表面平整光滑。其中氢氟酸系加入酒石酸后随着溶液稀释比的增加,刻蚀速率下降先快后慢,最后几乎不变化;磷酸系加入酒石酸后通过调整体系组分可以减轻湿法刻蚀工艺中广泛存在的下切效应以及钻蚀现象。
- 田超群魏冬寒刘磊高婷赵博李辉曲轶
- 关键词：湿法刻蚀GASB氢氟酸酒石酸
- 中红外锑化物激光器工艺中刻蚀研究
- 本论文在简要的介绍了锑化物半导体激光器的发展现状后，分析并讨论了目前锑化物激光器的工艺制造中存在的问题。 首先，文章中针对四元系的化合物AlGaAsSb、InGaAsSb的晶格常数进行了计算与分析，并分别讨论了其晶格常...
- 田超群
- 关键词：湿法刻蚀刻蚀工艺干法刻蚀
- 文献传递
