沈燕龙
- 作品数:8 被引量:0H指数:0
- 供职机构:北京航空航天大学物理科学与核能工程学院更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术电气工程理学更多>>
- 硅薄膜椭偏表征研究及其太阳电池制备中的应用
- 沈燕龙
- 关键词:硅薄膜太阳电池椭偏测量优化算法误差分析
- 掺Bnc-Si:H薄膜的制备及其光电性能的研究
- 采用等离子体化学气相沉积(PECVD)方法制备了B掺杂纳米硅薄膜。研究了B烷掺杂比、射频功率对掺B纳米硅薄膜生长特性和光电性能的影响。研究结果表明,掺杂少量的B有利于非晶硅薄膜晶化,随着掺B量的增加又使薄膜变为非晶态;射...
- 吴倞张维佳郭卫沈燕龙赵而敬张静
- 关键词:电导率太阳电池
- 文献传递
- 纳米硅薄膜太阳能电池的研制
- 采用等离子体增强化学气相沉积工艺(PECVD),在工作气压约300Pa下,制备了优质的本征非晶态薄膜(I层)和掺磷的纳米硅薄膜(N层)。并将制备的掺磷纳米硅薄膜应用于纳米硅薄膜太阳能电池,分析讨论了膜层的厚度、晶态比、透...
- 郭卫张维佳吴倞赵而敬沈燕龙张静
- 关键词:纳米硅薄膜太阳能电池PECVD光谱响应
- 文献传递
- 纳米硅薄膜太阳电池工艺参数的优化与制备
- 利用射频为13.56MHz的等离子体化学气相沉积(PECVD)设备,通过对电池的本征和N型纳米硅薄膜的制备工艺以及电池背电极的烧结工艺参数优化,制备出结构为Al栅极/ITO/N-nc-Si:H/I/P-c-Si/Al背电...
- 赵而敬张维佳沈燕龙张静林军杨东杰Havugimana Jean Jacques
- 关键词:纳米硅薄膜太阳电池背电极工艺参数
- 文献传递
- 掺Bnc-Si:H薄膜的制备及其光电性能的研究
- 采用等离子体化学气相沉积(PECVD)方法制备了B掺杂纳米硅薄膜。研究了B烷掺杂比、射频功率对掺B纳米硅薄膜生长特性和光电性能的影响。研究结果表明,掺杂少量的B有利于非晶硅薄膜晶化,随着掺B量的增加又使薄膜变为非晶态;射...
- 吴倞张维佳郭卫沈燕龙赵而敬张静
- 关键词:薄膜生长薄膜太阳电池等离子体化学气相沉积射频功率光电性能
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- 氢化纳米硅薄膜的椭偏表征
- 使用等离子体化学气相沉积的方法成功制备了厚度在30nm量级的超薄氢化纳米硅薄膜,采用单角度激光椭偏仪和光度法结合的方法测量,利用模拟退火算法和单纯形法处理椭偏数据,对其厚度和光学性质进行表征,比较了该方法与使用单一椭偏仪...
- 沈燕龙张维佳赵而敬张静杨东杰林军亚克
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- 掺铝氧化锌粉末及其陶瓷靶的制备与性能分析
- 以硝酸、高纯锌、硝酸铝、尿素为原料,采用均匀沉淀法制备掺铝氧化锌(AZO)粉末,借助769YP-24B型压片机预制AZO陶瓷靶坯体,经常压高温烧结成高致密度、高导电性的AZO陶瓷靶。运用XRD、SEM、电阻率仪等测试手段...
- 张静张维佳赵而敬沈燕龙杨东杰林军Havugimana Jean Jacques
- 关键词:AZO粉末靶材烧结温度均匀沉淀法
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- 纳米硅薄膜太阳能电池的研制
- 采用等离子体增强化学气相沉积工艺(PECVD),在工作气压约300Pa下,制备了优质的本征非晶态薄膜(I层)和掺磷的纳米硅薄膜(N层)。并将制备的掺磷纳米硅薄膜应用于纳米硅薄膜太阳能电池,分析讨论了膜层的厚度、晶态比、透...
- 郭卫张维佳吴倞赵而敬沈燕龙张静
- 关键词:纳米硅薄膜太阳能电池光谱响应等离子体增强化学气相沉积
- 文献传递