2024年12月28日
星期六
|
欢迎来到佛山市图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
曹建民
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
西安微电子技术研究所
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
合作作者
黄敞
西安微电子技术研究所
吴传良
西安微电子技术研究所
沈文正
西安微电子技术研究所
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
2篇
电子电信
主题
2篇
半导体
2篇
半导体器件
2篇
薄层
2篇
VLSI
1篇
亚微米
1篇
载流子
1篇
深亚微米
1篇
数值模拟
1篇
热载流子
1篇
微米
1篇
SOI器件
1篇
MOSFET
1篇
值模拟
机构
2篇
西安微电子技...
作者
2篇
沈文正
2篇
吴传良
2篇
曹建民
2篇
黄敞
传媒
2篇
Journa...
年份
2篇
1998
共
2
条 记 录,以下是 1-2
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
薄层SOI/MOSFET’s热载流子电流的数值模拟
1998年
本文应用“幸运电子”概念,取代平均电场热载流子模型[1],利用二维数值计算的方法,建立起一组热载流子向栅氧化层注入的注入电流和栅电流模型(包括热电子和热空穴).通过分别对SOI/MOSFET和相应的体硅器件模拟计算得出:栅电流和实验数据符合得很好;体硅器件的注入电流和通常一样,最大值发生在Vg=Vd/2处;然而在薄膜(包括中等厚膜)SOI器件中,由于存在着前栅、背栅的耦合作用,热载流子电流变化较为复杂.栅电流不能完全表现注入电流的变化情况.
曹建民
吴传良
张文俊
范辉
沈文正
黄敞
关键词:
SOI器件
半导体器件
MOSFET
VLSI
深亚微米薄层SOI/MOSFET’s热载流子效应分析
被引量:4
1998年
本文从二维模拟热载流子注入电流入手,讨论了不同硅层厚度、栅氧厚度和掺杂浓度对薄层深亚微米SOI/MOSFET’s热载流子效应的影响.模拟结果表明,对于不同的硅层厚度,沟道前表面漏结处的载流子浓度对热载流子效应起着不同的作用,有时甚至是决定性的作用.沟道前表面漏结处的载流子浓度和沟道最大电场一样,是影响薄层SOI/MOSFET’s热载流子效应的重要因素,这也就解释了以往文献中,随着硅层减薄,沟道电场增大,热载流子效应反而减小的矛盾.模拟也显示了在一定的硅层厚度变化范围内(60~100nm),器件热载流子效应达到最小值,而且在这一硅层范围内,热载流子效应对硅层厚度、栅氧厚度以及掺杂浓度的变化不敏感,这对高性能深亚微米薄层SOI/MOSFET’s设计具有重要的指导意义.
曹建民
吴传良
沈文正
黄敞
关键词:
VLSI
半导体器件
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张