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曹建民

作品数:2 被引量:4H指数:1
供职机构:西安微电子技术研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇半导体
  • 2篇半导体器件
  • 2篇薄层
  • 2篇VLSI
  • 1篇亚微米
  • 1篇载流子
  • 1篇深亚微米
  • 1篇数值模拟
  • 1篇热载流子
  • 1篇微米
  • 1篇SOI器件
  • 1篇MOSFET
  • 1篇值模拟

机构

  • 2篇西安微电子技...

作者

  • 2篇沈文正
  • 2篇吴传良
  • 2篇曹建民
  • 2篇黄敞

传媒

  • 2篇Journa...

年份

  • 2篇1998
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
薄层SOI/MOSFET’s热载流子电流的数值模拟
1998年
本文应用“幸运电子”概念,取代平均电场热载流子模型[1],利用二维数值计算的方法,建立起一组热载流子向栅氧化层注入的注入电流和栅电流模型(包括热电子和热空穴).通过分别对SOI/MOSFET和相应的体硅器件模拟计算得出:栅电流和实验数据符合得很好;体硅器件的注入电流和通常一样,最大值发生在Vg=Vd/2处;然而在薄膜(包括中等厚膜)SOI器件中,由于存在着前栅、背栅的耦合作用,热载流子电流变化较为复杂.栅电流不能完全表现注入电流的变化情况.
曹建民吴传良张文俊范辉沈文正黄敞
关键词:SOI器件半导体器件MOSFETVLSI
深亚微米薄层SOI/MOSFET’s热载流子效应分析被引量:4
1998年
本文从二维模拟热载流子注入电流入手,讨论了不同硅层厚度、栅氧厚度和掺杂浓度对薄层深亚微米SOI/MOSFET’s热载流子效应的影响.模拟结果表明,对于不同的硅层厚度,沟道前表面漏结处的载流子浓度对热载流子效应起着不同的作用,有时甚至是决定性的作用.沟道前表面漏结处的载流子浓度和沟道最大电场一样,是影响薄层SOI/MOSFET’s热载流子效应的重要因素,这也就解释了以往文献中,随着硅层减薄,沟道电场增大,热载流子效应反而减小的矛盾.模拟也显示了在一定的硅层厚度变化范围内(60~100nm),器件热载流子效应达到最小值,而且在这一硅层范围内,热载流子效应对硅层厚度、栅氧厚度以及掺杂浓度的变化不敏感,这对高性能深亚微米薄层SOI/MOSFET’s设计具有重要的指导意义.
曹建民吴传良沈文正黄敞
关键词:VLSI半导体器件
共1页<1>
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