戴强
- 作品数：9 被引量：18H指数：3
- 供职机构：电子科技大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程电气工程一般工业技术更多>>
- 基于梳齿间距偏差的微加速度计灵敏度模型
- 2011年
- 针对电容式微加速度计梳齿间距偏差所引起的灵敏度变化，基于高维数值积分与概率理论，并结合闭环微加速度计工作原理，导出了其灵敏度模型。当梳齿间距偏差分布在3．7～4．6μm区间，施加在固定电极上有效电压分别为2．3V、5．1V和8．3V时，其对应的灵敏度将处于120～195、55～85和32～51mV／g。范围。在相同条件下，对一批体硅玻璃键合结构的微加速度计进行了实验测量，其灵敏度分别落在119．3—179．9、53．8～81．1和33．0～49．8mV／g。区间。由此可见，该模型与实测值比较接近。模型指出了灵敏度与梳齿间距偏差的相互关系，从而可为微加速度计设计和工艺优化提供参考。
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- 关键词：计量学微加速度计
- 基于ATE多通道射频接收芯片测试研究
- 雷达用射频接收芯片是相控阵雷达应用中具有核心竞争力的产品单元,通过接收天空中被测物体反射回的低功率信号,将接收的S、L波段射频模拟信号通过混频器进行频率转换、滤波并将信号放大,驱动下一级的数字处理芯片。射频接收芯片具有射...
- 戴强
- 关键词：ATE测试程序
- 文献传递
- 基于梳齿间距MEMS工艺误差的微传感器电容与静电力分布模型被引量：1
- 2010年
- 在理论分析与模拟仿真基础上,提出了由于梳齿微细加工误差所引起的电容和静电力概率分布模型。该模型表明电容和静电力均为类高斯分布,它们在一定区段出现的可能性可根据其准期望和准方差确定,且该准期望与无加工误差情况相比均有小于5%的微小偏移;同时,该准方差依赖于梳齿数目和梳齿加工误差程度,当梳齿数目由10增大到60时,电容与静电力分布准方差分别增大约2倍和1倍,而当梳齿加工误差程度从5%增大到20%时,则分别增大约3.5倍和2.5倍。该模型可望为一大类梳齿结构微传感器或执行器性能偏差的理论研究和工艺实现提供参考。
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- 关键词：微传感器
- RF MLCC热应力分析被引量：4
- 2009年
- 采用有限元方法,应用ANSYS软件,模拟不同内电极结构和不同端电极厚度的RFMLCC在热冲击时的热应力分布。模拟结果显示:端电极倒角处、银电极与内电极引出端的接触处所受vonmises热应力较大,是热应力下RFMLCC结构中最薄弱的部位;结构中的峰值热应力随温度循环次数的增加而增加,五次循环后的热应力约为首次循环的4.5倍;悬浮内电极结构银电极上的最大热应力远小于正常内电极结构;增加银电极厚度可以大大减小热应力,对于13层悬浮内电极结构的RFMLCC,银电极厚度增加一倍,其所受热应力最大值减少约50%。本次仿真结合了自由划分和映射划分,并且多次局部细化网格,消除了畸形网格,使得各次仿真的能量准则百分比误差均小于2%。为分析RFMLCC热失效机制、优化结构、提高其可靠性提供了理论依据。
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- 关键词：有限元热应力热冲击
- 基于SOI的电容式微加速度计器件物理模型与实验研究
- 基于微机械工艺的电容式微加速度计因其体积小、功耗低、灵敏度高和方便与电路集成等优点,已成为民用工业与国防航空航天惯性导航领域的关键部件和研究热点。其中,在基于SOI的微加速度计器件层应力研究、开环模式非线性模型、跨机械、...
- 戴强
- 关键词：SOI微加速度计非线性模型
- 文献传递
- MEMS中硅湿法深槽刻蚀工艺的研究被引量：2
- 2011年
- 针对硅基MEMS湿法深槽刻蚀技术的难点,在硅材料各向异性腐蚀特性的基础上探索了湿法工艺。对腐蚀液含量、温度、添加剂含量对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,掩膜技术等进行了实验研究,优化得到了最佳刻蚀条件。应用该技术成功地刻蚀出深度高达330μm的深槽,为MEMS元器件的加工提供了一种参考方法。
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- 关键词：湿法刻蚀MEMS深槽刻蚀掩膜
- 基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型被引量：3
- 2008年
- 源于概率统计理论,针对梳齿电容的微细加工偏差,给出了当各梳齿间距偏差在一定范围内独立且均匀分布时,单边电容和双边电容驱动的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应物理模型.经过有限元仿真和Monte Carlo模拟验证,结果表明理论模型与仿真值之差小于10%.模型指出,当梳齿间距偏差由0变化到20%,加速度计在受到冲击与阶跃加速度信号作用时,其可靠工作范围将比无偏差理想情况下降10%~15%.该模型可望应用于实际有加工偏差的微加速度计可靠工作范围预先评估与设计.
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- 关键词：微加速度计
- 电容式微加速度计开环模式的非线性模型被引量：5
- 2007年
- 针对当前电容式微加速度计量程不高、开环模式非线性误差大的特点,根据力学理论和电路读出原理,并基于非线性特性中最大可测量加速度、初始工作点和吸合点与动定电极间距d的变化规律,提出了电容式微加速度计非线性模型.模型指出,随着输出电压的增加,可测量加速度近似成线性增加,在靠近最大可测量加速度αmax时斜率增大,其后随输出电压的增加而减小至吸合点;αmax由d和微结构梁弹性常数与质量之比λ决定,且d的作用优于λ;d在小于初始工作点时加速度计不能工作,该点由传感头参数η决定,且η的最佳取值范围为1×1019～2×1019,此时准静态条件下吸合点大于整个动电极行程的95%.该模型的提出对开环式加速度计的非线性误差纠正提供了理论支持,对加速度计的结构设计具有参考价值.
- 戴强王向展罗谦杨洪东杨谟华
- 关键词：电容式微加速度计非线性模型
- 微加速度计机械与电学一体化仿真模型
- 2010年
- 针对目前MEMS微加速度计机械和电路仿真各自脱节的现状,基于PSPICE软件,综合了敏感质量块机械、偏置电压静电力和接口电路3部分,提出了机械与电学一体化仿真模型。模型实现了敏感质量块大位移情形仿真,突破了已有仿真模型对该质量块的中点小位移近似。利用该模型,得到大位移情况下加速度计能承受的最大阶跃和脉冲加速度信号值,经过与经典理论公式比较,误差小于3%。进一步,通过在不同偏置电压开环模式下灵敏度仿真与实验值的比较,当敏感质量块处于小位移状态时,误差小于5%;处于大位移状态,小于10%。因此,仿真模型与经典理论公式以及实验值比较接近,可应用于微加速度计的仿真和物理过程再现,从而有助于该类微机械电子器件的进一步研究。
- 戴强卢盛辉杨洪东于奇
- 关键词：微加速度计电学
