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乐薇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇多层膜
  • 2篇致密
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米多层膜
  • 2篇溅射
  • 2篇钨
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 2篇W

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇黄平
  • 2篇王飞
  • 2篇徐可为
  • 2篇乐薇
  • 2篇谢继阳

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种共格/半共格结构的Al/W 多层膜制备方法
本发明公开了一种共格/半共格结构的Al/W多层膜制备方法。在磁控溅射镀膜过程中，如果采用慢速率沉积工艺，通过控制铝层和钨层的单层厚度，并通过溅射过程转速、偏压等实验参数的调整，则可以实现多层界面由共格界面像非共格界面逐步...
黄平谢继阳王飞乐薇徐可为
一种共格/半共格结构的Al/W 多层膜制备方法
本发明公开了一种共格/半共格结构的Al/W多层膜制备方法。在磁控溅射镀膜过程中，如果采用慢速率沉积工艺，通过控制铝层和钨层的单层厚度，并通过溅射过程转速、偏压等实验参数的调整，则可以实现多层界面由共格界面像非共格界面逐步...
黄平谢继阳王飞乐薇徐可为
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