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文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇等离子体
  • 4篇等离子体参数
  • 4篇探针
  • 2篇阵列
  • 2篇阵列式
  • 2篇射频
  • 2篇数据线
  • 2篇航空
  • 2篇二维阵列
  • 2篇放电模式
  • 2篇伏安特性曲线

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇丁亮
  • 4篇徐跃民
  • 4篇孙海龙
  • 4篇杨新杰
  • 4篇霍文清
  • 4篇孙简
  • 4篇朱翔
  • 4篇鉴福升
  • 4篇黄伟
  • 4篇姜昱光

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2012
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
一种获取等离子体伏安特性曲线方法
本发明涉及一种获取等离子体伏安特性曲线方法,该方法在射频放电模式条件下用朗缪尔探针对等离子体参数进行探测,所述的朗缪尔探针在扫描电压的控制下对一探测点进行探测来获取参数采样值,从而得到等离子体的伏安特性曲线;其中,一次探...
丁亮朱翔孙简鉴福升徐跃民孙海龙吴逢时黄伟霍文清杨新杰姜昱光
文献传递
一种二维阵列式等离子体参数探测装置
本发明涉及一种二维阵列式等离子体参数探测装置,包括:至少2个或以上朗缪尔探针、固定架、中空的固定件、平移台、步进电机、航空插座、螺旋电缆和支撑架;所述的朗缪尔探针固定于所述的固定架上,且探针部裸露于所述的固定架外,相邻两...
丁亮朱翔孙简鉴福升徐跃民孙海龙吴逢时黄伟霍文清杨新杰姜昱光
一种二维阵列式等离子体参数探测装置
本发明涉及一种二维阵列式等离子体参数探测装置,包括:至少2个或以上朗缪尔探针、固定架、中空的固定件、平移台、步进电机、航空插座、螺旋电缆和支撑架;所述的朗缪尔探针固定于所述的固定架上,且探针部裸露于所述的固定架外,相邻两...
丁亮朱翔孙简鉴福升徐跃民孙海龙吴逢时黄伟霍文清杨新杰姜昱光
文献传递
一种获取等离子体伏安特性曲线方法
本发明涉及一种获取等离子体伏安特性曲线方法,该方法在射频放电模式条件下用朗缪尔探针对等离子体参数进行探测,所述的朗缪尔探针在扫描电压的控制下对一探测点进行探测来获取参数采样值,从而得到等离子体的伏安特性曲线;其中,一次探...
丁亮朱翔孙简鉴福升徐跃民孙海龙吴逢时黄伟霍文清杨新杰姜昱光
共1页<1>
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