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黄云霞
作品数:
1
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
彭军
西安电子科技大学
张永华
西安电子科技大学
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作者
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张永华
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黄云霞
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彭军
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半导体情报
年份
1篇
2001
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SiCOI制造技术
2001年
Si COI是一种新型的微电子 SOI材料 ,有望在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用发展。本文介绍了近年来几种 Si
张永华
彭军
黄云霞
关键词:
SICOI
智能剥离技术
微电子材料
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