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邢懋腾
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京理工大学
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
詹杰
北京理工大学
王占和
北京理工大学
吴海霞
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蒋煜婧
北京理工大学
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2003
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纳米晶SnO2薄膜的结晶特性
被引量:2
2003年
采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150-400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2:Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向,测量了SnO2:Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化以及纳米晶SnO2薄膜FE—SEM表面及断面形貌。
王占和
吴海霞
蒋煜婧
邢懋腾
詹杰
关键词:
磁控溅射
纳米晶
SNO2薄膜
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