赵本刚
- 作品数：20 被引量：32H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技厅资助项目吉林省科委资助项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信一般工业技术更多>>
- 高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究被引量：4
- 2008年
- 扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高。
- 穆参军赵本刚吴亚明
- 关键词：光学分辨率
- 固体电解质CO_2传感器的改性研究被引量：2
- 2003年
- 高温固相法制备NASICON材料时,由于反应温度过高,造成材料中磷成分的挥发损失,导致材料做成的器件灵敏度降低。通过大量改性研究,找到了比较适宜的补磷条件。改性后,器件的气敏特性得到改善。
- 赵本刚陈丽华吴玉军刘奎学张爽何月华全宝富
- 关键词：固体电解质CO2传感器改性补磷
- 一次离子交换工艺制备平面集成布拉格波导光栅的方法
- 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，...
- 郝寅雷吴亚明赵本刚
- 文献传递
- 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
- 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到MEMS扭转...
- 吴亚明赵本刚徐静刘玉菲高翔李四华
- 文献传递
- 新型MEMS光学电流传感器的设计被引量：3
- 2006年
- 提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理，给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程，并模拟分析了器件在交流电100～3600A下的性能。结果表明：滤波后可得到稳定的测量光信号；温度变化±50K时相应的测试误差为0．2％；器件在大电流下的灵敏度优于0．02dB／A。
- 赵本刚刘玉菲徐静高翔吴亚明
- 关键词：微电子机械系统光学电流传感器滤波温度补偿
- NASICON材料的制备及改性研究被引量：3
- 2003年
- 在1 100℃,以高温固相法制备了NASICON材料,但由于反应温度过高,造成材料中磷成分的损失, 因而采用气态补磷系统进行改性研究。经过大量实验,得到了比较适宜的补磷条件。通过XRD、IR、XPS对改性后的材料表征,说明材料具有单斜结构并且组分纯净。通过气态补磷,NASICON中磷的含量从3.4%上升到4.9%,从而加大了材料的电导率,器件的灵敏度也相应增加,曲线斜率由57.6上升为补磷后的65.1。
- 赵本刚张爽吴玉军何月华陈丽华全宝富
- 关键词：高温固相法NASICON电导率
- 新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟被引量：2
- 2006年
- 提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Mat-lab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT.
- 刘玉菲赵本刚吴亚明王跃林
- 关键词：磁场传感器
- 微机械Golay腔型红外探测器的研究被引量：1
- 2007年
- 通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/2和响应时间为0.5m s。利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响。
- 高翔徐静赵本刚万助军吴亚明
- 关键词：微电子机械系统红外探测器气动
- 一次离子交换工艺制备平面集成布拉格波导光栅的方法
- 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，...
- 郝寅雷吴亚明赵本刚
- 文献传递
- 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法
- 本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro-Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS扭转微镜。无需放大电路，将待测的直...
- 吴亚明赵本刚高翔刘玉菲徐静
- 文献传递
