赵光平
- 作品数：27 被引量：42H指数：5
- 供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程电子电信更多>>
- 静态膨胀法真空标准装置
- 目前,国内外静态膨胀法真空标准装置的校准下限最低为10pa,影响校准下限的主要因素是校准室器壁的放气效应。为了解决器壁放气的影响,兰州物理研究所新研制了一套静态膨胀法真空标准装置,提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消...
- 赵光平张涤新李得天郭美如徐婕
- 关键词：合成标准不确定度
- 文献传递
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究
- 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压...
- 李得天郭美如邱家稳李正海成永军冯焱张涤新赵光平孙海
- 文献传递
- 定容法测量小孔流导方法研究
- 规则小孔的流导可以通过计算得到,但对于非规则小孔,若要准确得到小孔流导的大小,就必须通过实验测量得到.文章论述了定容法测量小孔流导的方法,进行了测量不确定度的评定,得到了整个校准范围内小孔流导随进气压力变化的拟合曲线和方...
- 郭美如李得天成永军赵光平
- 关键词：定容法
- 文献传递
- 正压漏孔校准装置优化设计
- 针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。采用特殊设计,将定容室的容积减小到10mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限。采用主、被动相结合的恒温方法...
- 冯焱张涤新成永军卢耀文赵澜赵光平徐婕
- 关键词：真空计量学正压漏孔校准装置优化设计
- 文献传递
- 提高静态膨胀法真空标准装置校准的精度
- 静态膨胀法真空标准装置作为真空计量最高标准,提高其测量精度是非常必要的。目前静态膨胀法真空标准装置不确定度的主要来源是体积比的测量,在一级膨胀、二级膨胀、三级膨胀校准方法中,三级膨胀法引入的不确定度最大。本文提出采用微压...
- 赵光平
- 关键词：静态膨胀法不确定度评定
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- 静态膨胀法真空标准测量容积比的不确定度分析
- 静态膨胀法真空标准是真空计量的基础标准,其精度在很大程度上取决于容积比测量的精度。选用一台高压力气体活塞压力计测量膨胀前气体的压力;利用电容薄膜真空计作为比较器,用一台低压力数字式气体活塞压力计测量膨胀后气体的压力;对静...
- 徐婕李得天郭美如赵光平
- 文献传递
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究
- 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10<'-10>Pa的极高真空;采用的分流法真空规校...
- 李得天郭美如邱家稳李正海成永军冯焱张涤新赵光平孙海
- 关键词：超高真空系统校准装置
- 文献传递
- 压力衰减法超高真空校准技术研究
- 压力衰减法超高真空校准装置由超高真空校准系统、稳压系统、供气系统和烘烤系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和和非蒸散型吸气剂泵组合的方法在真空校准室获得10Pa 的
- 郭美如李得天成永军李正海赵光平
- 文献传递
- 制备 ITO 薄膜的磁控反应溅射镀膜设备的研制被引量：1
- 1998年
- 提出了制备氧化铟锡薄膜（ＩＴＯ）的磁控反应溅射镀膜设备的关键部件的设计原则。给出了该设备的调试结果。
- 常天海江豪成赵光平
- 关键词：ITO镀膜设备氧化铟锡
- 提高静态膨胀法真空标准装置校准的精度
- 静态膨胀法真空标准装置作为真空计量最高标准,提高其测量精度是非常必要的。目前静态膨胀法真空标准装置不确定度的主要来源是体积比的测量,在一级膨胀、二级膨胀、三级膨胀校准方法中,三级膨胀法引入的不确定度最大。本文提出采用微压...
- 赵光平
- 关键词：静态膨胀法真空标准装置真空校准不确定度
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