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藤孝俊

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：日本东北大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇碳化钛
  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇钢表面
  • 1篇表面形貌
  • 1篇不锈
  • 1篇不锈钢

机构

  • 1篇长春工业大学
  • 1篇日本东北大学

作者

  • 1篇郭成言
  • 1篇藤孝俊
  • 1篇平井敏雄

传媒

  • 1篇吉林工学院学...

年份

  • 1篇1991
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
钢表面化学气相沉积碳化钛
1991年
采用化学气相沉积(CVD)法,以TiCl_4—CH_4—H_2为原料气体,在不锈钢表面获得了致密的碳化钛(TiC)膜,研究了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向与沉积条件的关系。结果表明,沉积温度T_(aep)、碳钛比CH4/TiCl_4强烈地影响TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向。CH_4/TiCl_4低时,TiC晶体的择优取向为(220);CH_4/TiCl_4高时,TiC晶体的择优取向为(200)。气氛中活性碳的平衡浓度是决定碳化钛的表面形貌、晶体择优取向的主要因素。
郭成言藤孝俊平井敏雄
关键词：化学气相沉积表面形貌不锈钢碳化钛
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