蒋浩
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:天津理工大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金:天津市科技计划国家自然科学基金天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
- Cu/TiOx/Al阻变存储器激活过程的研究
- 2015年
- 为了拓展光电器件在存储领域的应用以及更深入地了解阻变机理,研究了Cu/TiOx/Al电阻式随机存储器(RRAM)的激活(forming)过程,其中TiOx为透明薄膜。利用磁控反应溅射方法,通过改变O2分压制备出具有高折射率(在可见光区域平均值约2.23)和低消光系数(在可见光区域平均值约0.004 2)的透明TiOx薄膜。通过构建Cu/TiOx/Al三明治结构验证了透明TiOx薄膜的阻变存储特性。在阻变过程中,通过调节forming电压和电流,实现了透明TiOx薄膜的阶段性forming。对不同forming阶段的I-V拟合,进一步探索透明TiOx薄膜forming过程的电子传输方式。结果表明,随着forming的发展,透明器件的传输机理发生明显改变,由肖特基发射(SE)转变为FN隧穿,直接隧穿,到最后的欧姆传输,最终实现完整的forming。揭示了TiOx薄膜应用于可见光波段光电存储器件的可行性。
- 陈长军宗庆猛蒋浩周立伟吕联荣
- 关键词:光学
- 基于Cu/SiO_x/Al结构的阻变存储器多值特性及机理的研究被引量:1
- 2014年
- 采用氧化硅材料构建了Cu/SiOx/Al的三明治结构阻变存储器件.用半导体参数分析仪对其阻变特性进行测量,结果表明其具有明显的阻变特性,并且通过调节限制电流,得到了四个稳定的阻态,各相邻阻态的电阻比大于10,并且具有良好的数据保持能力.在不同温度条件下对各个阻态进行电学测试及拟合,明确了不同阻态的电子传输机理不尽相同:阻态1和阻态2为欧姆传导机制,阻态3为P-F(Pool-Frenkel)发射机制,阻态4为肖特基发射机制.根据电子传输机制,建立了铜细丝导电模型并对Cu/SiOx/Al阻变存储器件各个阻态的电致阻变机制进行解释.
- 陈然周立伟王建云陈长军邵兴隆蒋浩张楷亮吕联荣赵金石
- 关键词:SIOX薄膜