董珊
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信更多>>
- 泡生法蓝宝石晶体炉内隔热屏损坏机理研究被引量：3
- 2013年
- 泡生法蓝宝石晶体炉钼制内隔热屏是炉内温场的一个重要部件,但损坏的几率非常高。为提高内隔热屏的使用寿命降低整个晶体的生产成本,通过对损坏的蓝宝石晶体炉内隔热屏轴向厚度分布测量,结合钼材料真空蒸发速率与温度的关系对其损坏机理进行了研究。结果表明:钼材料的蒸发速率在中间区域很高,在上下两端非常缓慢。根据其厚度分布,针对对传统的双层结构内隔热屏缺陷,提出了更为经济合理的三层内隔热层设计思想,提出了通过降低真空度、增加中间区域厚度延长隔热屏寿命等设想。
- 承刚孟秀清董珊
- 关键词：泡生法
- 一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏
- 本发明公开了一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏，该多层结构内隔热屏整体呈圆筒形，包括自上而下依次连接的上隔热层、中隔热层和下隔热层，其中上隔热层与下隔热层位于晶体炉的低温区，中隔热层位于晶体炉的高温区。本发明由...
- 承刚李京波李永涛董珊
- 文献传递
- 泡生法蓝宝石晶体炉内隔热屏损坏机理研究
- 泡生法蓝宝石晶体炉钼制内隔热屏是炉内温场的一个重要部件,但损坏的几率非常高.为提高内隔热屏的使用寿命降低整个晶体的生产成本,通过对损坏的蓝宝石晶体炉内隔热屏轴向厚度分布测量,结合钼材料真空蒸发速率与温度的关系对其损坏机理...
- 承刚孟秀清董珊
- 关键词：泡生法使用寿命
- 文献传递
- 一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法
- 本发明公开了一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法，包括化料、引晶和晶体生长三个阶段，该方法在化料及引晶阶段采用电压控制方式，在晶体生长阶段采用功率控制方式。本发明通过双重控制技术，在晶体生长的各种情况下，对生长进行控...
- 承刚李京波李永涛董珊
- 文献传递
- 一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法
- 本发明公开了一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法，包括化料、引晶和晶体生长三个阶段，该方法在化料及引晶阶段采用电压控制方式，在晶体生长阶段采用功率控制方式。本发明通过双重控制技术，在晶体生长的各种情况下，对生长进行控...
- 承刚李京波李永涛董珊
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