腾功清
- 作品数：6 被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京信息科技大学理学院更多>>
- 发文基金：北京市教育委员会科技发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
- 旋转式硅微机械陀螺的研究
- 2007年
- 分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电容敏感特性。对制作的陀螺进行性能测试的结果表明,该陀螺利用旋转载体自身的旋转角速度作为驱动,从而说明敏感载体的俯仰(或横滚)角速度原理正确,并且理论和试验都说明,当载体自旋角速度不同时,陀螺输出信号的比例系数也不同。
- 王宏伟腾功清齐臣杰江世宇
- 关键词：微机械陀螺角速度
- 一种小型电容敏感式加速度计的研制被引量：3
- 2007年
- 利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系。经过实验测试,加速度计的灵敏度大约为391.12mV/(m.s-2)。
- 王宏伟江世宇腾功清齐臣杰
- 关键词：加速度计电容铍青铜
- 一种小型电容敏感式加速度计的研制
- 利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例...
- 王宏伟江世宇腾功清齐臣杰
- 关键词：加速度计电容铍青铜
- 文献传递
- 旋转摆动式硅微机械陀螺敏感头的研制
- 2007年
- 介绍旋转摆动式硅微机械陀螺电容敏感的原理,给出了陀螺振动单元的结构尺寸,计算了被测角速度和敏感电容的关系,进而得到被测角速度和输出电压的关系.利用微机械加工方法加工得到了硅振动单元,加工硅振动单元的工艺特点是双面多次光刻、腐蚀.介绍了制作旋转摆动式硅微机械陀螺敏感元件的工艺并对制作的敏感元件进行测试,测试结果表明"三明治"敏感元件四个敏感电容较计算得到的电容偏小.
- 王宏伟腾功清齐臣杰江世宇
- 关键词：陀螺微机械敏感元件
- 旋转式硅微机械陀螺的研究
- 分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电容敏感特性。对制作的陀螺进行性...
- 王宏伟腾功清齐臣杰江世宇
- 关键词：微机械陀螺角速度
- 文献传递
