您的位置： 专家智库 > >

潘丽

作品数：63 被引量：31H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国防科技技术预先研究基金“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 12篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 3篇科技成果

领域

  • 23篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 23篇透镜
  • 23篇光刻
  • 21篇微透镜
  • 17篇刻蚀
  • 16篇光学
  • 12篇掩模
  • 12篇湿法腐蚀
  • 12篇透镜阵列
  • 11篇微透镜列阵
  • 11篇列阵
  • 10篇微透镜阵列
  • 9篇光学元件
  • 8篇激光
  • 8篇光刻胶
  • 8篇红外
  • 8篇干法刻蚀
  • 7篇微光学
  • 7篇浮雕
  • 6篇微光学元件
  • 6篇线宽

机构

  • 63篇中国科学院
  • 1篇四川大学

作者

  • 63篇潘丽
  • 32篇杜春雷
  • 27篇罗先刚
  • 27篇邱传凯
  • 21篇王长涛
  • 18篇刘玲
  • 18篇邢卉
  • 18篇刘尧
  • 15篇刘凯鹏
  • 14篇邓启凌
  • 13篇冯沁
  • 11篇董小春
  • 11篇周崇喜
  • 11篇方亮
  • 10篇李飞
  • 10篇王永茹
  • 9篇岳衢
  • 8篇陈波
  • 7篇李国俊
  • 6篇曾红军

传媒

  • 4篇光电工程
  • 3篇光子学报
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇半导体光电
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇第五届全国光...
  • 1篇2004全国...

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 8篇2012
  • 6篇2011
  • 11篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 2篇2006
  • 3篇2005
  • 4篇2004
  • 7篇2003
  • 2篇2002
  • 4篇2001
  • 4篇2000
  • 1篇1999
  • 1篇1998
共 63 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种硅基悬空的金属纳米针孔及其加工方法
本发明提供一种硅基悬空的金属纳米针孔及其加工方法，该纳米针孔制作于硅基悬空的金属薄膜上。其制作流程包括：选取双面抛光硅片，在硅片的上表面沉积金属膜，再在硅片的两个表面分别沉积氮化硅膜。然后在硅片上表面涂光刻胶进行光刻，刻...
邱传凯岳衢潘丽余翔李国俊李飞周崇喜饶学军
文献传递
一种制作微透镜列阵的方法
本发明公开了一种制作微透镜列阵的方法。该方法包含设计、制作二元掩模，将掩模经光学系统投影在光刻材料上，在曝光过程中移动掩模，刻蚀、复制等步骤。该方法克服了二元光学方法、激光直写技术、光刻热熔法等方法存在的缺陷和上述方法在...
陈波曾红军杜春雷郭履容潘丽邓启凌周礼书邱传凯
文献传递
消色差谐衍射微透镜列阵的应用研究被引量：3
2000年
本文研究菲涅耳谐衍射透镜的特性和工作条件 ,分析二元谐衍射透镜的衍射效率及制作要求 ,设计并研制了用于萨克 -哈特曼波前传感器的双波长共焦谐衍射微透镜列阵 ,得到了良好的应用效果 .
杜春雷白临波邱传凯王永茹潘丽
关键词：衍射效率
一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法
本发明涉及一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法，该人工电磁材料是由金属-掺杂介质-金属三层结构组成的微纳米图形结构，可用于红外、太赫兹波段。其制作方法包括：选择绝缘硅，利用沉积、粘结、干法刻蚀、湿法腐蚀、再沉...
邱传凯胡承刚岳衢张铁军李国俊罗先刚潘丽李飞
文献传递
添加导引光的条阵大功率半导体激光器的整形方法
添加导引光的条阵大功率半导体激光器(High-Power Laser Diode Bar，简称LD)的整形方法：(1)通过计算光纤纤芯半径和孔径角一半的乘积，以及LD光束在快慢轴两个方向上的光参数积，确定对LD光束整形所...
谢伟民周崇喜杜春雷杨欢潘丽战盛龙
文献传递
添加导引光的条阵大功率半导体激光器的整形方法
添加导引光的条阵大功率半导体激光器(High－Power Laser Diode Bar，简称LD)的整形方法：(1)通过计算光纤纤芯半径和孔径角一半的乘积，以及LD光束在快慢轴两个方向上的光参数积，确定对LD光束整形所...
谢伟民周崇喜杜春雷杨欢潘丽战盛龙
文献传递
一种利用显微镜测量自撑膜的弹性变形量的方法
一种利用显微镜测量自撑膜弹性变形量的方法，属于薄膜性能测量领域。其特征在于以下步骤：(1)选择基片材料，并在其上制作有机膜；(2)在有机膜材料上面制作金属膜层以及光栅做为标记图形；(3)于基片另一面进行湿法腐蚀，仅留下有...
邢卉王长涛罗先刚潘丽方亮刘尧刘玲刘凯鹏
文献传递
AZ9260光刻胶制作连续非球面微透镜阵列的研究被引量：4
2003年
为解决研制深浮雕连续非球面微光学元件所面临的浮雕深度和面型控制这两大难点,选取吸收系数小的AZ9260正性光刻胶进行实验研究。提出了采用低温长时间前烘和连续升温后烘技术实现深浮雕结构和非球面面型的控制,并得到口径为300μm、抗蚀剂厚度为35.49μm、石英刻蚀深度为72.36μm双曲线柱面透镜的最佳光刻工艺参数。实验曲线与标准双曲线拟合所得最大误差为2.3637μm,均方根差为0.9779μm。
张晓玉姚汉民杜春雷潘丽邱传凯
关键词：光刻
红外面阵焦平面探测器
本实用新型是一种红外面阵焦平面探测器,属于对红外探测器的改进。本实用新型由红外探测器与集成在其上的微透镜阵列构成红外面阵焦平面探测器。该红外面阵焦平面探测器既提高了红外探测器的探测率,同时又克服了现有耦合式红外探测器体积...
杜春雷邱传凯白临波潘丽王永茹
文献传递
一种基于SOI和电铸技术的金属纳米线阵及其制备方法
本发明提供一种基于绝缘硅(SOI)和电铸技术的金属纳米线阵及其制备方法，该金属纳米线阵的各金属线之间由掺杂硅介质材料填充，其制备流程包括：选取SOI，并在其上下表面各沉积一层氮化硅薄膜；采用光刻及干法刻蚀，在SOI下底面...
潘丽岳衢胡承刚张铁军李飞罗先刚邱传凯周崇喜
文献传递
全选 清除 导出
共7页<1234567>
聚类工具0