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杨建生

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇强流离子注入...
  • 2篇注入机
  • 2篇离子注入
  • 2篇离子注入机
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子技术
  • 1篇机械扫描

机构

  • 2篇电子工业部

作者

  • 2篇杨建生
  • 1篇陈林

传媒

  • 2篇微细加工技术

年份

  • 2篇1997
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
LC-11型强流离子注入机剂量控制器被引量：1
1997年
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
杨建生
关键词：强流离子注入机微电子技术
全机械扫描强流离子注入机重复性研究被引量：3
1997年
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。
陈林杨建生颜享迪
关键词：强流离子注入机
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共1页<1>
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