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李焯

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇会议论文
  • 1篇专利

主题

  • 2篇介质
  • 2篇介质薄膜
  • 1篇电介质膜
  • 1篇振荡源
  • 1篇扫频
  • 1篇微波测量
  • 1篇微波测量设备
  • 1篇微波振荡源
  • 1篇微扰
  • 1篇微扰法
  • 1篇膜厚
  • 1篇介质膜
  • 1篇厚度
  • 1篇厚度测量
  • 1篇厚度仪
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇场效应

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇钟茂声
  • 2篇吕文选
  • 2篇李焯
  • 1篇杨进城

传媒

  • 1篇第三届全国微...

年份

  • 1篇1988
  • 1篇1987
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
简易式微波腔体微扰法介质薄膜厚度仪
讨论一种简易式微波腔体微扰法测量介质薄膜厚度的工作原理。传感器应用圆柱形高Q值的H[*v011*]腔体，使测厚仪具有高精度，且可实现无接触测量，特别适于可塑性介质薄膜厚度的测量。文章还分析测量误差及实验结果。测厚仪测量厚...
钟茂声吕文选李焯
关键词：微波测量设备介质电介质膜厚度
薄膜厚度测量装置
薄膜厚度测量装置。本实用新型属于微波测厚技术，是对微波腔体微扰法的改进，并应用于介质薄膜的厚度测量。它采用圆柱型TE。双腔单模作为传感器，被测薄膜位于沿纵向中央所开的横向隙缝中，采取温度自补偿措施和线性好的场效应压控振荡...
李焯杨进城钟茂声吕文选
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