李启文
- 作品数：12 被引量：13H指数：2
- 供职机构：深圳大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术电子电信电气工程理学更多>>
- 基于PLD法制备的MgZnO薄膜紫外传感器的研究被引量：6
- 2011年
- 用KrF准分子脉冲激光沉积(PLD)法,以石英为衬底,在300℃～600℃制备了MgZnO薄膜。由拉曼光谱仪、AFM、UV/vis分光光度计对薄膜进行表征,结果表明,在600℃制备薄膜有最大的禁带宽度3.78 eV,以及最好的结晶质量。在此薄膜上镀上Al电极制备紫外传感器,测量了传感器的的I-V曲线、光谱响应特性,以及在365 nm紫外光辐照下的时间响应特性。传感器波长响应峰值在约320 nm;上升时间常数为9.1 ms,下降时间常数为16.5 ms。
- 胡居广刁雄辉李学金林晓东李佑国刘毅龙井华李启文
- 关键词：紫外探测器温度脉冲激光沉积
- 一种脉冲激光沉积系统
- 本实用新型适用于激光技术领域，提供了一种脉冲激光沉积系统，所述脉冲激光沉积系统包括用于产生脉冲激光的激光器、使所述脉冲激光投射于靶材的振镜、将所述脉冲激光聚焦于所述靶材的聚焦镜、驱动所述振镜振动的振镜转轴、驱动所述靶材旋...
- 胡居广刁雄辉林晓东李启文钟健施苇刘毅龙井华
- 文献传递
- 温度对PLD法制备CIGS薄膜性能的影响被引量：5
- 2011年
- 利用脉冲激光沉积(PLD)法在40～600℃范围内,以石英为基底制备了系列铜铟镓硒(CIGS)薄膜。利用分光光度计,XRD,SEM,EDS等对薄膜进行表征。结果表明,薄膜都以(112)择优取向生长,在40～400℃范围内,温度对薄膜结晶质量、晶粒尺寸等影响不明显;温度达到600℃时,结晶质量、晶粒尺寸及薄膜的红外透光率等显著增加。认为这主要与Ga元素的扩散受温度的影响有关,温度越高,Ga元素有足够的能量进行充分扩散,并完成晶体结构重组,同时分析了Se元素含量随温度变化的原因。
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- 关键词：CIGS薄膜脉冲激光沉积温度扩散
- 激光沉积薄膜制备装置
- 本发明涉及激光加工，提供一种激光沉积薄膜制备装置，包括激光发射器以及腔室，于腔室内设置有靶材以及沉积形成薄膜的基底，于靶材与基底之间沿靶材至基底的方向依次间隔设置有用于阻挡羽辉内的大颗粒的至少两层栅栏结构，每一栅栏结构均...
- 胡居广李启文王刘杨王斌陈涛向皓明
- 一种薄膜沉积及退火装置
- 本实用新型适用于薄膜制造技术领域，提供了一种薄膜沉积及退火装置，包括真空腔体以及设置于真空腔体外的激光器和光束整形器，在激光器和光束整形器之间设有波长变换器，真空腔体的腔壁开有可供激光射入的窗口，在真空腔体内，于激光的入...
- 胡居广王斌李启文王刘杨陈涛向皓明
- 文献传递
- 衬底温度对PLD法沉积CdS及ZnS薄膜材料的影响被引量：2
- 2013年
- 以ITO玻璃为衬底,利用脉冲激光沉积(PLD)法在温度为50、200和400℃下制备了CdS、ZnS薄膜。测量分析了温度对CdS及ZnS薄膜的透射光谱特性、光学带隙、Raman光谱特性等的影响。结果显示,在实验温度范围内:①ZnS薄膜比CdS薄膜透射性能好,光学带隙大;②ZnS薄膜的Raman光谱复杂,Raman特征峰较弱;CdS薄膜的Raman特征峰明显;③随温度升高,CdS与ZnS相比禁带宽度增加明显、Raman特征峰增高变窄。对此现象进行了解释,为利用CdS或ZnS薄膜作为CIGS薄膜太阳电池缓冲层提供了参考。
- 胡居广李启文郑彬汤华斌王培罗仲宽曹慧群林晓东
- 关键词：脉冲激光沉积CDS薄膜ZNS薄膜
- 激光沉积薄膜制备装置
- 本发明涉及激光加工，提供一种激光沉积薄膜制备装置，包括激光发射器以及腔室，于腔室内设置有靶材以及沉积形成薄膜的基底，于靶材与基底之间沿靶材至基底的方向依次间隔设置有用于阻挡羽辉内的大颗粒的至少两层栅栏结构，每一栅栏结构均...
- 胡居广李启文王刘杨王斌陈涛向皓明
- 文献传递
- 脉冲激光沉积铜锌锡硫（CZTS）薄膜及太阳电池制备
- 近十年来,全球光伏发电的发电量年平均增长速度超过了40%,经济环保的铜锌锡硫（CZTS）薄膜太阳电池将会成为未来发展的主流产品。CZTS薄膜相稳定区狭窄,非化学计量比时容易出现大量的内部缺陷,适当的贫铜富锌原子比和一定的...
- 李启文
- 关键词：脉冲激光沉积薄膜太阳电池
- 一种脉冲激光沉积系统
- 本发明适用于激光技术领域，提供了一种脉冲激光沉积系统，所述脉冲激光沉积系统包括用于产生脉冲激光的激光器、使所述脉冲激光投射于靶材的振镜、将所述脉冲激光聚焦于所述靶材的聚焦镜、驱动所述振镜振动的振镜转轴、驱动所述靶材旋转的...
- 胡居广刁雄辉林晓东李启文钟健施苇刘毅龙井华
- 文献传递
- MgZnO薄膜的准分子激光晶化(英文)
- 2012年
- 利用KrF准分子激光,在室温下对PLD法制备的MgZnO薄膜进行激光退火处理,研究了激光能量密度为50~167 mJ/cm^2时对薄膜结晶性能的影响,并用XRD、AFM、透射光谱等测试手段对薄膜进行表征。结果表明,在能量密度为125 mJ/cm^2时,薄膜具有最佳结晶效果。由于激光具有良好的可控性,可以实现区域选择性退火。本实验为维持较低的基底温度下实现MgZnO薄膜的退火处理提供了参考。
- 胡居广李启文林晓东罗仲宽曹慧群刁雄辉张一倩陈展耀汤华斌
- 关键词：晶化激光退火
