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孙勇山

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇亚微米
  • 1篇深亚微米
  • 1篇水系统
  • 1篇微米
  • 1篇工艺用
  • 1篇纯水
  • 1篇纯水系统

机构

  • 1篇无锡微电子科...

作者

  • 1篇华卫群
  • 1篇王铁坤
  • 1篇孙勇山

传媒

  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
深亚微米工艺用二次纯水系统
2002年
本文介绍了深亚微米工艺用二次超纯水系统主要工艺流程及其各部分的作用。比较了一次纯水电阻率,二次纯水电阻率及二次纯水 TOC 含量的相互关系。讨论了半导体集成电路制造工艺对超纯水的水质要求以及水中杂质对半导体工艺的影响。
王铁坤华卫群孙勇山
关键词：深亚微米
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共1页<1>
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