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唐国雄

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇电导
  • 1篇电压
  • 1篇误差分析
  • 1篇半导体
  • 1篇测试系统
  • 1篇差分

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇吴良津
  • 1篇汤定元
  • 1篇刘坤
  • 1篇唐国雄
  • 1篇褚君浩

传媒

  • 1篇分析测试技术...

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
差分式电容谱仪研制
1994年
利用差分法方法，研制出了电容、电导测试系统并编制了系统操作软件。该系统具有测试精度高、自动化程度高的特点，能测量０．０１ｐＦ的电容变化量，而且其操作过程均由计算机自动控制，简单易学；该系统另一特点是既可测量电容、电导相对值，也可测量电容、电导绝对值。测试结果表明系统的精度已达ＨＰ公司的电容谱仪水平。使用该系统既可研究半导体表面、界面，也可研究半导体同、异质结器件的工作性能及制备工艺。
刘坤褚君浩吴良津唐国雄汤定元
关键词：半导体测试系统误差分析
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共1页<1>
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