初明璋
- 作品数：57 被引量：44H指数：4
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 实用化电子束曝光机的真空系统
- 本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.
- 薛虹顾文琪刘俊标初明璋唐晖徐彧
- 关键词：电子束曝光自动控制真空系统
- 文献传递
- 电子束缩小投影成像曝光系统研究
- 顾文琪张福安方光荣薛虹靳鹏云彭开武张今朝唐晖初明璋吴桂君王理明
- 该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究，探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
- 关键词：
- 二次掩膜法制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法
- 一种二次掩膜法制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法，该方法采用电子束在真空中对夹层式（三明治型）二硼化镁约瑟夫森结先驱膜进行退火。所述的夹层式二硼化镁约瑟夫森结先驱膜为采用二次掩膜法制备的[Mg/B]‑X‑[Mg/B]结构先...
- 孔祥东李晓娜韩立初明璋许壮
- 文献传递
- 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计被引量：6
- 2011年
- 针对目前高速扫描型原子力显微镜(AFM)主要是限于物检测且扫描速度和扫描范围均有待提高,提出了一种高速原子力显微镜结构设计方案。在压电陶瓷致动器驱动的柔性铰链结构式位移台的基础上,构建了AFM大范围扫描器,使原子力显微镜在x-y扫描方向的运动范围达到了100μm×100μm。通过傅里叶频谱分析,计算获得了AFM扫描器常用的三角波驱动信号和正弦波驱动信号的高次谐波特性及其对AFM高速扫描成像的影响程度。为了消除在扫描运动过程中的机械自激振荡,提出了将正弦波信号作为高速扫描的驱动信号,行扫速度达到50line/s。在正弦波驱动的基础上提出了一种基于位置采样的图像获取方法,有效地减小了AFM扫描器的非线性误差造成的图像畸变现象。
- 殷伯华陈代谢林云生初明璋韩立
- 关键词：原子力显微镜正弦波驱动图像畸变
- 离子束曝光技术被引量：4
- 2003年
- 论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及取得的一些新结果。
- 初明璋顾文琪
- 关键词：掩模离子源图像对准
- 基于SEM的纳米级电子束曝光机系统设计
- 本文主要介绍基于扫描电子显微镜(SEM)纳米级实用化电子束曝光机系统的研究内容、主要技术指标及曝光工艺实验的结果.
- 顾文琪薛虹韩立刘俊标初明璋
- 关键词：电子束曝光机系统设计扫描电子显微镜
- 文献传递
- 电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法
- 一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法，该方法采用电子束在真空中对二硼化镁先驱膜进行退火，在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应最终生成二硼化镁超导薄膜。退火时电子束参数和退火时间依据不同的前驱膜厚度...
- 孔祥东韩立薛虹初明璋李建国林云生方光荣
- 文献传递
- 矩形真空插板阀
- 一种矩形真空插板阀，使用在半导体行业中的真空与大气的管路之间，用于阻隔或打通所输送的电子元器件，它是由阀体外壳(14)、阀门轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是在阀门轴(1）的下部安装有阀体(17)及矩形阀板(7)，当...
- 初明璋韩立刘俊标安秉谦顾文琪
- 文献传递
- CD-AFM在45nm半导体芯片检测过程中的应用
- 殷伯华初明璋林云生韩立
- 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法
- 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴...
- 殷伯华陈代谢韩立刘俊标林云生初明璋
- 文献传递
