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快速吸附与脱附的声表面波H_2S传感器: 2011年; 本文主要研究了基于SnO_2/CuO薄膜的声表面波(SAW)传感器(室温下,工作频率约为147.8 MHz)检测H_2S气体的特性。以36°YXLiTaO_3为基片制作声表面波器件,通过采用射频磁控溅射法在其表面淀积SnO_2/CuO的复合薄膜制作出H_2S气体传感器。由场发射电子扫描电镜观察薄膜,薄膜连续均匀且表面分布大量微气孔,因而具有良好的吸附性。然后本文在85℃～205℃范围内对传感器的吸附和脱附速率、灵敏度及选择性等进行了实验研究。实验结果表明,所制备的传感器在较低温度下同时具备快速吸附和脱附特性,工作在190℃时气体吸附和脱附速率最快,检测20ppm H_2S的响应和恢复时间分别为30s、15s;工作在160℃时,传感器检测20ppmH_2S的灵敏度最高,工作频率变化约230 kHz,且对于低浓度2 ppm H_2S,频率变化可达45 kHz。同时,传感器也表现出良好的重复性和选择性。; 王秀东李红浪付琛梁勇何世堂; 关键词：声表面波 H2S 气体传感器

Love波传感器结构的有限元分析方法被引量：9: 2012年; 提出一种ANSYS分析Love波传感器性能的有限元方法。根据Love波传感器的特点,施加一维近似假设和周期性边界条件建立了由压电基片,金属电极和波导层组成Love波传感器的三维有限元分析模型,并在此模型分析结果基础上提取结构的特征频率。一方面运用开路和短路条件下的特征频率来计算机电耦合系数,另一方面结合微扰理论的计算得到器件的质量灵敏度。最后通过这两个参数来选取波导层厚度,使器件达到最优的性能。在不同的波导层厚度情况下,计算了SiO_2/ST-90°X石英和SiO_2/36°Y-X LiTaO_3两种结构Love波传感器结构的仿真结果,得到了这两种结构的波导层最优的厚度分别为0.11λ和0.2λ。与已报道的文献和实验的结果对比,本文所采用的方法明显优于传统的均匀层状结构理论分析的结果,通过仿真不同结构和材料参数的器件性能,有效地指导Love波传感器的设计。; 付琛李红浪王秀东梁勇何世堂; 关键词：传感器结构 LOVE波有限元分析方法 ANSYS分析周期性边界条件机电耦合系数

36°YX钽酸锂漏波谐振器的有限元分析: 介绍了一种利用通用有限元软件ANSYS分析漏波谐振器的方法。根据有限元方法的原理,结合漏波器件的特点,运用合理的近似,给出了漏波谐振器的有限元分析模型。并且用ANSYS对36°YXLiTa03材料模型进行了有限元分析,得...; 付琛柯亚兵李红浪何世堂; 关键词：漏波有限元 ANSYS; 文献传递

基于ANSYS提取单相单向换能器耦合模参数被引量：1: 2011年; 基于有限元理论,给出了基于ANSYS提取单相单向换能器(Single Phase Unidirectional Transducers,SPUDT)耦合模参数的方法。首先,结合声表面波在压电介质中的传播原理,给出了压电有限元分析方程和对应的ANSYS分析步骤。然后针对SPUDT结构,给出了周期性近似分析的理论模型,利用耦合场分析对其进行模态分析和谐响应分析,最后结合两者的结果来计算SPUDT的耦合模参数。本文给出基底材料为压电晶体128°YX-LiNbO_3和YZ-LiNbO_3,电极材料为铝的三种不同SPUDT的计算结果,理论结果与Hashimoto和Hartmann文献报道的结果相吻合,并且和实验测试的结果基本一致。从而给出了提取SPUDT耦合模参数的一种通用、有效的方法。; 付琛李红浪何世堂; 关键词：ANSYS 声表面波单相单向换能器模态分析谐响应分析

声表面波谐振器的ANSYS分析: ＜正＞1引言随着移动通讯的发展,对声表面波（Surfaceacoustic wave,SAW）器件的设计要求越来越高,早期对SAW器件的设计的唯象模型的方法因为采取了较多的近似,模拟的结果精确度不高。随着计算机技术的迅猛...; 付琛李红浪柯亚兵何世堂; 文献传递

36°YX钽酸锂漏波谐振器的有限元分析: 介绍了一种利用通用有限元软件ANSYS分析漏波谐振器的方法。根据有限元方法的原理,结合漏波器件的特点,运用合理的近似,给出了漏波谐振器的有限元分析模型。并且用ANSYS对36°YXLiTa03材料模型进行了有限元分析,得...; 付琛柯亚兵李红浪何世堂; 关键词：有限元 ANSYS模型; 文献传递

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