邹卫东
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：华中科技大学物理学院物理系更多>>
- 发文基金：湖北省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 微波反应腔中电磁场分布与等离子体行为研究被引量：1
- 2003年
- 从麦克斯韦方程组出发,采用有限积分法计算出了微波反应腔中给定等离子体的空间分布时电磁场的分布情况,以及给定电磁场的空间分布时等离子体的分布情况,从而得到了微波反应腔中电磁场的稳定分布和影响等离子体放电位置的参数.
- 张德新邹卫东
- 关键词：电磁场等离子体
- 低能量粒子磁控溅射沉积薄膜的蒙特卡罗模拟
- 2002年
- 提出了一个磁控溅射的低能量粒子 (可以是离子或原子 )加温沉积模型 ,特别考虑了溅射损伤和有一定能量的入射粒子对基底的加温作用 ,并和真空沉积在相同外界条件下作了比较。利用蒙特卡罗方法研究了低能量粒子 (<10 0eV)对金属原子沉积薄层的作用。结果表明 ,当溅射很弱时 。
- 张德新邹卫东
- 关键词：磁控溅射沉积蒙特卡罗模拟
- MPCVD反应腔电磁场分布的数值模拟被引量：3
- 2003年
- 采用有限积分理论的算法,模拟了具有轴对称的微波等离子体反应腔中电磁场的分布情况,计算出给定等离子体的空间分布时微波反应腔中电磁场的稳定分布状态.并依据实验中的一些可变参数,寻找影响反应腔中电磁场分布的参数,为设计利用MPCVD技术沉淀金刚石薄膜的反应腔提供参考依据.
- 张德新邹卫东
- 关键词：电磁场数值模拟
