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肖金泉
作品数:
148
被引量:99
H指数:6
供职机构:
中国科学院金属研究所
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合作作者
孙超
中国科学院金属研究所金属腐蚀与...
宫骏
中国科学院金属研究所金属腐蚀与...
闻立时
中国科学院金属研究所
华伟刚
中国科学院金属研究所
赵彦辉
大连理工大学材料科学与工程学院...
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2002
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2001
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148
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磁过滤电弧离子镀制备TiAlN涂层的结构与性能表征
被引量:3
2017年
采用磁过滤电弧离子镀技术在高速钢基体上沉积TiAlN涂层。研究了N_2分压对TiAlN涂层的相结构、化学成分、力学性能、沉积速率、表面粗糙度、结合强度以及摩擦磨损性能的影响。结果表明,N_2分压的变化对涂层的结构与性能影响显著。随着N_2分压的增加,TiAlN涂层呈现(111)择优取向,其硬度最高可达34 GPa。涂层的沉积速率和表面粗糙度随着N_2分压的增大而逐渐降低。此外,由于大颗粒的去除使得涂层表面质量得到提升,所制备的TiAlN涂层均具有较低的摩擦系数(0.15~0.33),并且呈现良好的抗磨损性能,其最低磨损率为8.8×10^(-7)mm^3/(N·m)。
陈磊
裴志亮
肖金泉
宫骏
孙超
关键词:
TIALN涂层
力学性能
摩擦磨损性能
多模式可编程调制的旋转横向磁场控制的电弧离子镀装置
本发明涉及薄膜制备领域,具体地说是一种利用旋转磁场控制弧斑运动的多模式可编程调制的旋转横向磁场控制的电弧离子镀装置。该电弧离子镀装置设有靶材、旋转磁场装置、电磁线圈、绝缘套、法兰、真空室、基体夹座,真空室内设置基体夹座、...
肖金泉
郎文昌
孙超
宫骏
赵彦辉
闻立时
文献传递
一种模具表面耐磨防粘纳米复合TiSiCN涂层及其制备方法
本发明属于金属材料表面处理技术领域,具体涉及一种模具表面耐磨防粘纳米复合TiSiCN涂层及其制备方法。在基体表面依次是Ti层、TiN层、TiSiN层以及TiSiCN层,TiSiCN层的厚度为2~20微米。本发明采用磁场增...
赵彦辉
李彤
史文博
肖金泉
刘忠海
于宝海
一种Zr-Cu-N纳米复合耐磨抗菌涂层及其制备方法
本发明属于金属材料表面沉积纳米复合耐磨抗菌涂层技术领域,具体涉及一种氮化锆铜(以下称Zr‑Cu‑N)纳米复合耐磨抗菌涂层及其制备方法。在基体表面依次是ZrCu膜形成的过渡层和Zr‑Cu‑N层,Zr‑Cu‑N纳米复合耐磨抗...
赵彦辉
刘占奇
刘兴龙
徐丽
任玲
于宝海
肖金泉
杨柯
文献传递
一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用
本发明属于薄膜制备领域,具体地说是一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用。所述复合结构靶材包括高磁导率的软磁性材料靶壳与铁磁性材料靶材,所述铁磁性材料靶材与软磁性材料靶壳相连。本发明复合结构靶材解决了由于铁磁性靶材表面...
孙超
常正凯
肖金泉
宫骏
华伟刚
陈育秋
文献传递
用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜装置
本实用新型属于材料表面改性领域,涉及一种用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜的装置,解决现有PECVD方法在管内轴向等离子体放电的不均匀性,而且直接造成管内表面轴向薄膜沉积均匀性差等问题。在待处理的细长金属管置...
赵彦辉
于宝海
肖金泉
文献传递
旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响
被引量:2
2015年
研究了旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律,采用有限元分析软件FEMM对旋转横向磁场的分布进行了模拟,考察了不同频率(80~210Hz)及电磁线圈励磁电流对弧斑运动的影响。从电弧斑点放电的物理机制出发,探讨了不同频率和磁场线圈电流对电弧离子镀弧斑运动的影响机制。结果表明,随着旋转横向磁场强度和频率的提高,使弧斑逐渐从聚集的斑点态(或者弱分散的团絮态)转变为大面积分布在靶面较强的分散弧斑絮线,最后转变为完全分布在整个靶面的强分散弧斑线,弧斑分裂强烈,产生的弧光等离子体更加均匀细腻。随着瞬态弧斑线在靶面分布面积的增加,弧压增加,弧电流密度急剧下降,靶材利用率达到85%以上。旋转横向磁场的应用,带来了弧斑大面积稳定放电、等离子离化率、密度及靶材利用率大幅度提高的多重效应。
郎文昌
赵彦辉
肖金泉
宫骏
孙超
于宝海
闻立时
关键词:
电弧离子镀
有限元分析
一种氧化锆涂层制备工艺
本发明涉及涂层制备技术,具体地说是一种氧化锆涂层的制备工艺,采用电弧离子镀技术在合金基体或电弧离子镀MCrAlY涂层上利用纯Zr或ZrY合金靶材在O<Sub>2</Sub>气氛内反应沉积ZrO<Sub>2</Sub>或Z...
孙超
王启民
宫骏
王铁刚
刘山川
华伟刚
鲍泽斌
肖金泉
闻立时
文献传递
在连续纤维丝/条带表面高速均匀沉积薄膜的装置和方法
本发明属于薄膜制备领域,具体地说是一种在连续纤维丝/条带表面高速均匀沉积金属/化合物薄膜的装置和方法,解决了在纤维丝/条带表面高速均匀沉积薄膜的问题。该装置由两组四面矩形或正方形非平衡态磁控靶材和两个相同的带孔遮蔽板组成...
雷浩
肖金泉
宫骏
孙超
文献传递
一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用
本发明属于薄膜制备领域,具体地说是一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材结构的设计及其应用。复合结构靶材为靶壳及磁性材料靶材构成,靶壳紧固于磁性材料靶材外围;其中,靶壳选用高磁导率的软磁性材料靶壳,靶壳上附加相同温...
孙超
常正凯
肖金泉
宫骏
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