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池寅生
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3
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东南大学
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东南大学
庄苹
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飞秒脉冲激光在微机械系统中脱附和加工的机理研究
自从飞秒脉冲激光的出现,基于这一新型超强超短脉冲激光的技术和应用得到了迅猛发展。飞秒脉冲激光及其技术为科学研究、实验方法和工程应用提供了前所未有的全新的工具和手段。飞秒脉冲激光由于在较小的光能能量密度下具有极高的光强、加...
池寅生
关键词:
飞秒脉冲激光
微机电系统
半导体器件
文献传递
飞秒激光脱附的随机运动模型的研究
2006年
以飞秒脉冲激光的非平衡态传热和原子分子激发态的微观机理为基础,建立了飞秒激光对微纳米结构中基体表面层的杂质进行脱附的随机运动物理模型.由脱附过程的数值模拟结果,获得了脱附概率随激光辐射时间的演化规律以及不同激光参数对脱附概率的影响.
池寅生
林晓辉
庄苹
陈云飞
关键词:
脱附
飞秒激光
飞秒激光辐射纳米薄膜脱附的能量输运机理研究
2006年
从微观能量传输角度,对飞秒脉冲激光的辐射传热及其产生的金属薄膜吸附层分子脱附过程的能量输运机理进行了研究。以非平衡态传热和随机过程理论为基础,建立了描述吸附分子脱附过程的数学模型;并分别对单脉冲与双脉冲飞秒激光辐射下,金属Ru基体表面层的电子和声子的温度分布、吸附层分子CO的脱附概率分布进行了数值模拟。其结果与实验规律相符,为飞秒脉冲激光应用于微机电系统中杂质脱附提供了重要信息。
林晓辉
池寅生
庄苹
陈云飞
关键词:
飞秒脉冲激光
脱附
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