梁仕昌
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：广东工业大学材料与能源学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省教育厅自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺文化科学更多>>
- 氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响被引量：1
- 2003年
- 研究了各种氧化工艺对真空电弧沉积 Ti N薄膜组织与性能的影响。结果表明 ,Ti N薄膜在 4 0 0℃于不同时间整体氧化时 ,表面 Ti液滴和 Ti N相发生不同程度的氧化 ,转变成具有金红石型的 Ti O2 薄膜 ,提高了膜层表面的致密性 ,而 Ti N薄膜的整体组织结构未发生较大改变。随着氧化时间的延长 ,在 4 0 min后硬度才略有下降 ,内应力下降 ,膜层的结合力提高 ,并具有较好的耐磨性能。
- 谢光荣曾鹏胡社军梁仕昌
- 关键词：TIN薄膜
- 氧化工艺在真空电弧沉积TiN薄膜中的应用——专业课程与课题相结合的实践被引量：1
- 2003年
- 文章通过氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响这一课题研究 ,指出在毕业论文的工作中 ,将专业知识运用到实际课题的研究中 。
- 梁仕昌曾鹏
- 关键词：专业课程TIN薄膜
