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李树民
作品数:
4
被引量:10
H指数:2
供职机构:
天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
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发文基金:
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合作作者
李艳宁
天津大学精密仪器与光电子工程学...
傅星
天津大学精密仪器与光电子工程学...
房轩
天津大学精密仪器与光电子工程学...
胡小唐
天津大学精密仪器与光电子工程学...
宋丽薇
天津大学精密仪器与光电子工程学...
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压电探针应用于原子力显微镜液体成像的研究
被引量:7
2006年
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法,比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能,以标准生理溶液中的海拉细胞为样品,对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究.研究表明,采用压电探针的直接激振方法在探针振动的幅频曲线中仅有单一谐振峰,可以避免在压电陶瓷管激振方法下由液体振动造成的寄生谐振峰,因此使用压电探针不仅提高了探针振动频率的控制精度,而且减小了针尖对样品的损坏,还提高了仪器的带宽和成像速度.对于512×512点阵和60μm×60μm范围的图像,使用该方法可将采集速度由原来的2~3min/帧提高到15-20s/帧,并且扫描速度的提高对原子力显微镜在动态过程中的研究有着重要的参考价值.
李艳宁
赵倩云
王忠顺
房轩
宋丽薇
李树民
傅星
胡小唐
关键词:
原子力显微镜
微悬臂梁
轻敲模式
基于NI数据采集卡的微悬臂梁品质因数调谐
2007年
品质因数Q是影响微悬臂梁灵敏度的一个重要物理参量,是衡量微悬臂梁振动特性的重要指标,它与微悬臂梁振动所受到的环境阻尼成反比。微悬臂梁应用于液体等大阻尼环境中时,由于阻尼作用,品质因数降低,灵敏度及分辨力会降低。因此品质因数的调制对于提高仪器检测灵敏度和分辨力具有重要意义。本文提出一种基于NI数据采集卡的微悬臂梁品质因数的数字调控方法,根据振动反馈信号来实时调控振动激励信号的振幅,以调控品质因数Q的值。实验表明,这种品质因数Q控制方法能够有效地增大品质因数Q的值。
李树民
李艳宁
李英
宋丽薇
关键词:
微悬臂梁
AFM
数据采集卡
LABVIEW
品质因数
基于微梁谐振原理的相对湿度检测技术
被引量:3
2007年
提出了一种基于微梁谐振原理的相对湿度检测方法.建立了微梁谐振频率与环境相对湿度的函数关系,通过检测谐振频率可以测量环境相对湿度.利用压电微梁直接激励法进行实验,得出了30%~80%湿度范围内微梁谐振频率与相对湿度的关系曲线.经实验验证,基于谐振原理的微梁湿度传感器有良好的精度和重复性,分辨率可达0.2%RH,精度优于±2.0%RH.微梁湿度传感器体积小、响应快、精度高,在微机电系统和微全分析系统中有广泛的应用前景,
李艳宁
李树民
郭彤
房轩
傅星
胡小唐
关键词:
谐振频率
相对湿度
微机电系统
微悬臂梁品质因数调控模块研究
随着MEMS微加工技术的发展,微悬臂梁作为一种高灵敏度的纳米传感元件广泛应用于物理化学生物等传感领域,如温度、湿度检测,生化分子识别,DNA分子成像等。微悬臂梁有两种工作模式:静态弯曲模式和动态共振模式,可用于传感器中作...
李树民
关键词:
微加工技术
微悬臂梁
品质因数
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