您的位置： 专家智库 > >

文尉任

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：厦门大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金福建省科技计划重点项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电源
  • 2篇真空
  • 2篇微机电系统
  • 2篇稳压
  • 2篇稳压电源
  • 2篇金属阳极
  • 2篇机电系统
  • 2篇溅射
  • 2篇玻璃衬底
  • 2篇场发射
  • 2篇衬底
  • 2篇电系统

机构

  • 4篇厦门大学

作者

  • 4篇文尉任
  • 3篇孙道恒
  • 3篇王凌云

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 2篇2007
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
基于纳米硅尖场发射的微真空传感器的初步研究
本文在目前基于场发射原理的真空传感器研究得较少，尚无成熟的、可靠的产品问世的情况下，将MEMS技术和真空微电子技术相结合，提出了一种基于纳米硅尖场发射的微真空传感器原型方案。 基于纳米硅尖场发射的微真空传感器是...
文尉任
关键词：场发射
文献传递
场发射真空传感器被引量：2
2008年
场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%。该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力。
文尉任王凌云孙道恒
关键词：场发射
真空传感器
真空传感器，涉及一种传感器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，利用硅尖阵列的场致发射原理来测量真空度大小的微型真空传感器。提供一种具有原理简单可行、受环境影响小、加工工艺成熟简单易于集成等特点，应用范围前景广...
孙道恒文尉任王凌云
文献传递
真空传感器
真空传感器，涉及一种传感器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，利用硅尖阵列的场致发射原理来测量真空度大小的微型真空传感器。提供一种具有原理简单可行、受环境影响小、加工工艺成熟简单易于集成等特点，应用范围前景广...
孙道恒文尉任王凌云
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0