宣明
- 作品数：92 被引量：568H指数：14
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术理学更多>>
- 一种新的压电驱动器非线性数学模型被引量：10
- 2002年
- 为提高压电驱动器的响应速度和定位精度 ,必须建立能够精确描述其非线性行为的数学模型。在实验的基础上 ,提出了一种新的描述压电驱动器内外环非线性曲线关系的数学模型。实际测量表明 ,通过应用此模型 ,在压电驱动器全程伸长范围内对其非线性曲线的相对拟合误差小于 2 %。推导了数学模型的几点性质 ,这些性质对描述压电驱动器在小激励信号下的行为有一定帮助。
- 贾宏光吴一辉宣明王立鼎
- 关键词：压电驱动器非线性数学模型
- 泵用两叠片圆形压电振子的弯曲振动分析被引量：24
- 2005年
- 为提高微型压电泵的输出能力,采用瑞利法对固定边界条件下两叠片压电振子进行了理论研究。以压电晶片与金属基板的厚度比α、直径比β(称结构参数)为变量,推导出了压电振子谐振频率及有效机电耦合系数的计算方法。通过编程计算即可获得压电振子的有效机电耦合系数和谐振频率,进而优选压电振子的结构参数。以日本产压电振子为例进行了谐振频率的计算,并与阻抗分析仪的测试的谐振频率进行了比较,二者比较接近。研究结果表明,结构参数的变化对压电振子的谐振频率和机电耦合系数影响较大,当结构参数α、β分别为0.3和0.6时,压电振子的最大有效机电耦合系数为0.52。
- 阚君武吴一辉宣明杨志刚吴博达程光明
- 关键词：压电振子
- LIGA工艺探讨
- 1993年
- 本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。
- 王志勤姚劲松宣明王一凡
- 关键词：X射线掩模微型机械
- 微型机械及相关理论和技术被引量：7
- 1994年
- 微型机械是一门新兴学科，它的发展十分迅速，本文介绍了微型机械的研究现状，相关理论和技术以及已取得的一些成果。
- 宣明
- 关键词：微型机械
- 基于FPGA的高精度霍尔测速方法被引量：13
- 2009年
- 为了解决传统霍尔测速准确性和快速性相互制约的问题,以实现空间用飞轮转速的快速准确测量;分析了霍尔测速误差产生的主要原因,提出了一种改进的周期测速法(T测速法),并给出了基于现场可编程门阵列(FPGA芯片)和硬件描述语言(VHDL)的实现办法;实验表明在同等精度的条件下,该方法速度反馈时间为传统方法的1/18,相对误差优于0.01%,实现了飞轮转速的快速准确测量。
- 徐春剑吴一辉武俊峰宣明白越
- 关键词：霍尔传感器测速FPGA
- 微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法
- 本发明涉及微小型光纤光谱仪的结构及其制作方法。包括安装槽1、支架2、第一螺纹孔3、第一槽4、第二槽5、光阑6、第三槽7、第四槽8、台阶面9、入口10、第二螺纹孔11、第三螺孔12、出口13、压盖14、成像反射镜15、准直...
- 吴一辉贾宏光周连群张平鞠挥宣明
- 文献传递
- 基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
- ＜正＞1 研究目的和意义微型全分析系统（Micro Total Analysis System,μTAS）包括进样、分离、检测,广义的还涉及到反应和输运。其最终目标是在微芯片上实现化学全分析系统。用传统离心和磁分离的方法...
- 何林吴一辉张平宣明
- 文献传递
- 双转子平面微电机定子制作工艺研究被引量：6
- 2003年
- 为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机。定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反面相对应的线圈由穿过基底的引线相连。采用以准LIGA技术为基础的制作方法。在双面线圈定子制作工艺中,通过设计适当的工艺步骤,并控制甩胶、前烘与曝光条件,在已腐蚀出引线通孔的衬底上完成双面光刻并电铸孔引线的工艺过程。定子直径为23mm,孔引线边长500μm,深约400μm,线圈线宽100μm,高度35μm。装配后的电机测试结果表明电机运行平稳,力矩波动小。
- 梁静秋郭占社吴一辉王淑荣张平宣明
- 关键词：双转子定子
- 掩模电镀镍微结构的镀层均匀性研究被引量：16
- 2008年
- 在给定的电镀液组分下,对掩模电镀微结构的厚度均匀性及镀层横截面轮廓进行了研究,讨论了影响微结构镀层厚度均匀性的主要因素,分析了镀层横截面轮廓随电流密度的改变而变化的原因。电镀液中无添加剂时,镀层均匀性与阴极极化度及电镀边缘效应直接相关;电镀液中有添加剂时,本实验所使用添加剂所具有的并存吸附状态是影响镀层均匀性的主要因素。通过实验得到可获得良好均匀性镀层的电镀参数为:i=(6±2)mA/cm2,t=25℃。
- 李加东吴一辉张平宣明刘永顺王淑荣
- 关键词：微结构均匀性
- 具有混合功能的精密微量取样装置
- 本发明涉及用于生化分析仪器的自动取样装置，特别是一种集取样和样品与试剂混合功能为一体的具有混合功能的精密微量取样装置。包括一密封缸体和设置在该缸体底端与缸体内腔相连通的进样针管、直线电机；密封缸体的内腔是下部具有缩颈的阶...
- 黎海文吴一辉高春海丁震雷张洪辉宣明
- 文献传递
